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题名ArF准分子激光器废气分析及处理技术
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作者
梁晓琳
包本刚
戴清利
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机构
湖南科技学院物电系
汉寿人民医院器材科
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出处
《环境科学与技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第8期220-222,250,共4页
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基金
湖南省教育厅资助科研项目(14C0485
12A054)
+2 种基金
永州市2014年度指导性科技项目
湖南省科技计划资助(2012FJ3052)
湖南科技学院重点学科建设项目资助(电路与系统)
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文摘
随着稀有气体卤化物准分子激光器的推广应用,直接排入大气中的废气给人体和环境带来了严重危害。为了降低其危害程度,分析了Ar F准分子激光器工作气体反应动力学和废气成分,得知其危害主要来源于废气中的含卤气体。卤化物准分子激光器废气处理装置具有两级吸收净化含卤气体的功能,采用总体积约50 L的Na OH(1.0 mol/L)和Ca(OH)2(0.02 mol/L)碱液对废气中含卤成分进行第一次吸收,采用总质量约1.0 kg的Ca(OH)2和Ca O固态碱性粉末(质量比为74∶112)固态碱性混合物对废气进行进一步净化。使用该装置对医用型Ar F准分子激光器的废气进行净化处理实验研究,实验结果表明,该废气处理装置可以吸附废气中95.6%的氟气,而且当碱液吸附效果不明显时,只需增加质量约74 g的Ca(OH)2可恢复其活性。
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关键词
ArF准分子激光器
工作气体反应动力学
卤素气体
废气处理
废气检测
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Keywords
ArF excimer lasers
working gas reaction kinetics
halogen gas
exhaust gas treatment
exhaust gas detecting
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分类号
X701.7
[环境科学与工程—环境工程]
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