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真空蒸镀聚乙烯醇薄膜 被引量:5
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作者 龚建勋 刘正义 +2 位作者 邱万奇 闻立时 林盛川 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期359-362,共4页
采用真空蒸发沉积 (蒸镀 )聚乙烯醇薄膜 ,通过SEM和光学显微镜观察聚乙烯醇薄膜呈现典型的岛状形式并均匀分布于衬底表面 ,且以梯田状台阶式长大。衬底温度是影响PVA薄膜沉积速度的主要因素。红外光谱分析表明其蒸镀薄膜的主要化学结构... 采用真空蒸发沉积 (蒸镀 )聚乙烯醇薄膜 ,通过SEM和光学显微镜观察聚乙烯醇薄膜呈现典型的岛状形式并均匀分布于衬底表面 ,且以梯田状台阶式长大。衬底温度是影响PVA薄膜沉积速度的主要因素。红外光谱分析表明其蒸镀薄膜的主要化学结构特点是羰基代替了部分羟基。 展开更多
关键词 聚乙烯醇薄膜 真空蒸镀 衬底温度 真空蒸发沉积 均匀分布 薄膜沉积 红外光谱分析 表面 SEM 化学结构
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