微泵研究进展

介绍了近十几年特别是近几年来微泵研究的最新成果,根据有无可动阀及不同的驱动方式,比较系统地介绍了压电驱动微泵、静电驱动微型泵、双金属驱动微泵、形状记忆合金薄膜驱动微泵、热驱动薄膜微泵、收缩—扩张型微泵、电液动力微泵(EHD泵)、热驱动型微泵、热气致动微泵、基于粘性的微泵、双膜微泵、磁动力微泵等各种微泵的结构、原理、应用情况,展望了微泵的发展前景。