微机械的制造、应用和发展

概述微机械的加工技术包括微机机械工业加工所用材料、腐蚀加工、淀积加工，键合加工的现状；介绍微机械的应用领域及其对高新技术发展的影响；指出微传感器、微执行器、微机器人与微系统是微机械技术发展的主要方向。