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微波等离子体的朗缪尔探针测量 被引量：1
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作者 张宝芳 《佳木斯大学学报（自然科学版）》 CAS 2010年第4期521-523,共3页
随着微波等离子体的应用越来越广泛,其参数的测量研究也逐渐得到人们的重视.本文使用朗缪尔探针测量了微波等离子体的单探针I-V特性,并根据探针测量原理计算出等离子体空间电位、电子温度,电子密度和离子密度等参数.
关键词 微波等离子体 朗缪尔探针 测量
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