物理分离方法在硅片切割废液回用中的应用

硅片切割废液中的聚乙二醇、碳化硅和硅粉都是可以再回收利用的,通过离心分离法、旋流分离、浮选法、虹吸法、过滤法、分级法、筛分法、电极法、超声法等物理方法可以对碳化硅进行分离提纯,通过压滤、膜过滤和蒸馏等方法可以对聚乙二醇进行分离提纯。