多晶硅还原炉自动控制电流新方法探讨

为了解决多晶硅生产过程中众多不确定因素引起的温度、电流波动等问题，笔者有针对性地研究了多晶硅生产过程有效控制的方法，用于预测与修正自动控制电流，使多晶硅生长过程能稳定地进行晶体生长。多晶硅还原炉控制系统，通常按照预先设定的温度变化曲线调节各个时刻施加在硅棒上的电流值，或采用PID（比例、积分、微分）调节方式，从而实现对硅棒渐进加热。然而，