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题名浅析高平整度和低损伤碳化硅晶片的纳米磨削技术
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作者
张明明
吴德宝
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机构
沈阳和研科技股份有限公司
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出处
《中国科技期刊数据库 工业A》
2023年第9期195-198,共4页
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文摘
微电子行业作为世界最大的产业之一,在一定的层面上也离不开现代化科学技术手段的有效运用。只有保证新型技术手段的科学性使用,才能够从更为深层次的角度上为未来的纳米磨削技术应用价值与优势的全面体现,奠定更为完善的基础与前提条件。也是基于此,本文才进一步地从高平整度和低损伤碳化晶片的纳米磨削技术研究背景、高平整度和低损伤碳化晶片的纳米磨削技术发展趋势、高平整度和低损伤碳化晶片的纳米磨削技术应用分析,三个层面展开了更为详细的分析。
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关键词
高平整度
低损伤
碳化硅晶片
纳米磨削技术
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分类号
TG146
[金属学及工艺—金属材料]
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题名探究碳化硅单晶抛光片激光加工技术
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作者
张明明
吴德宝
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机构
沈阳和研科技股份有限公司
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出处
《中文科技期刊数据库(全文版)工程技术》
2023年第8期47-50,共4页
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文摘
随着现代科技的不断发展,企业如果可以控制新一代材料则可控制新一代器件,此时也可以走在科技发展的最前列。当前碳化硅单晶材料是半导体材料中最为新型的材料,自身具有宽度大,击穿性强,漂移速度高的特点,热导率较大,因此电导数较小,所以可以有效应对各类辐射问题,因此整体也具备稳定性的特点,可以将其应用在高密度集成的电子器件中,现已成为国际最为关注的焦点信息之一。针对碳化硅单晶材料制备方面,其中主要包括两种技术,一种为晶体生长技术,一种为加工技术,在二者支持下才可完善碳化硅单晶材料的制备。晶片加工技术现已成为器件生产中最为重要的保障,任何一种优异特性材料都需单晶片加工技术的支持,从而有效推进器件制备工艺的进步。
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关键词
碳化硅单晶材料
抛光片
激光加工技术
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分类号
TQ127.2
[化学工程—无机化工]
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