一种直观、可靠、准确的半定量分析新方法

用波谱仪、能谱仪和光栅调制建立的的假彩色图象相结合的方法,可以很直观的看出样品显微组织的形貌,各种化学成分的含量以及各种元素的分布情况。弥补了用谱仪只能显示X射线点而不能显示二次电子图象;只能在一条线上来显示成分曲线而不能看整体分布情况的弱点。从而使形貌、含量、分布在一张彩色图上显示出来,使半定量分析更加完善。这种方法利用位相光栅在白光信息处理系统中的衍射特性对体现与原子序数有关信息的背散射电子象进行处理制作出假彩色照片,再用波谱仪能谱仪分析确定化学成分与彩色图片的对应关系。实验过程中,首先制作光栅调制图象负片。采用黑白光栅20线/mm,天津Ⅰ型或Ⅱ型干版。