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自主创新 加快新能源、新材料工艺设备研发
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作者 董毅 宋传芳 《科技成果纵横》 2011年第6期10-10,共1页
沈阳慧宇真空技术有限公司是从事高新技术真空应用设备研究开发的高新技术企业,主要产品为各种高真空磁控溅射设备、真空镀膜、电子束镀膜、各种物理化学沉积设备(MOCVD)、超高真空场发射设备、高真空磁控电弧炉、高温高压真空炉和... 沈阳慧宇真空技术有限公司是从事高新技术真空应用设备研究开发的高新技术企业,主要产品为各种高真空磁控溅射设备、真空镀膜、电子束镀膜、各种物理化学沉积设备(MOCVD)、超高真空场发射设备、高真空磁控电弧炉、高温高压真空炉和各种真空部件,产品畅销国内外。其为国内外大型科研项目加速器研制的各种光束线、高精度仪器设备达到了国外同类产品水平,可为重大科研项目提供技术支持。 展开更多
关键词 自主创新 工艺设备 新能源 新材料 高新技术企业 真空应用设备 研发 真空镀膜
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