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真空电弧源冷却结构对温度场的影响研究
1
作者
刘兴龙
沈佩
+2 位作者
王光文
岳向吉
蔺增
《真空》
CAS
2022年第6期29-33,共5页
真空电弧离子镀技术是工业界使用最为广泛的表面处理技术之一。在电弧离子镀实际应用过程中,所制备涂层的表面大颗粒仍然是困扰高端制造的一大难题,造成这一现象的根本原因是靶材表面局部过热产生的液滴飞溅。减少液滴产生的有效方法有...
真空电弧离子镀技术是工业界使用最为广泛的表面处理技术之一。在电弧离子镀实际应用过程中,所制备涂层的表面大颗粒仍然是困扰高端制造的一大难题,造成这一现象的根本原因是靶材表面局部过热产生的液滴飞溅。减少液滴产生的有效方法有很多,除降低放电功率密度、提高弧斑运动速度等热端控制技术之外,还包括加强靶材的冷却等。本文将新型冷却结构和弧斑运动引入弧源的数值模型,对弧源内部冷却水的流场和靶材表面的温度场进行模拟分析,研究了不同边界条件下弧源温度场的变化规律。本文的研究结果对真空镀膜机设计与工艺开发具有一定的指导作用。
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关键词
弧源
冷却结构
温度场
靶面温度
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职称材料
题名
真空电弧源冷却结构对温度场的影响研究
1
作者
刘兴龙
沈佩
王光文
岳向吉
蔺增
机构
东北大学机械工程与自动化学院
沈阳添和毅科技有限责任公司
泰安东大新材表面技术
有限
公司
辽宁省植入器械与界面科学重点实验室
出处
《真空》
CAS
2022年第6期29-33,共5页
基金
中央高校基本科研业务费交叉融合项目(N2003009)。
文摘
真空电弧离子镀技术是工业界使用最为广泛的表面处理技术之一。在电弧离子镀实际应用过程中,所制备涂层的表面大颗粒仍然是困扰高端制造的一大难题,造成这一现象的根本原因是靶材表面局部过热产生的液滴飞溅。减少液滴产生的有效方法有很多,除降低放电功率密度、提高弧斑运动速度等热端控制技术之外,还包括加强靶材的冷却等。本文将新型冷却结构和弧斑运动引入弧源的数值模型,对弧源内部冷却水的流场和靶材表面的温度场进行模拟分析,研究了不同边界条件下弧源温度场的变化规律。本文的研究结果对真空镀膜机设计与工艺开发具有一定的指导作用。
关键词
弧源
冷却结构
温度场
靶面温度
Keywords
arc source
cooling structure
temperature field
target surface temperature
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
真空电弧源冷却结构对温度场的影响研究
刘兴龙
沈佩
王光文
岳向吉
蔺增
《真空》
CAS
2022
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