HL-2A装置快速扫描气动探针的研制和运用

快速扫描气动探针已在HL-2A装置上用于对边缘等离子体参数的径向分布的测量,特别是刮离层等离子体参数的特征长度和扰动的测量。该系统采用精密的气动气缸驱动带有探针组件的长驱动杆,其最快速度可在60 ms时间内水平扫描8 cm的距离。探针信号测量具有1MHz的快速时间响应和0.04 mm的空间分辨率。可靠地测量了HL-2A装置边缘电子温度和密度的时空分布。

激光-分子束-表面散射装置的研制

介绍了自行设计和加工的激光-分子束-表面散射装置，并对超高真空转动密封结构作了详细描述。差分泵浦的超音速分子束对准样品中心，射入超高真空主室。样品架安放在主室中央，四极质谱检测器可绕样品转动，用来测量表面散射分子的平动能及角分布。三个石英窗口作为激光窗口，可用LIF或MPI方法来测量表面散射分子的内能态分布，也可用于研究表面光化学。最后给出了分子束发散角及室温时CH2I2在Ag（110）表面用308um激光光解碎片碘的TOF谱的测量结果。

JGP-600型磁控溅射薄膜沉积装置的研制

本文介绍了一种新的ＪＧＰ－６００型磁控溅射沉积薄膜装置。该装置采用射频和直流兼容的磁控溅射靶，靶－基距可以在工作时调节，ＫＡＵＦＭＡＮ源离子束清洗，涡轮分子泵真空系统，磁力偶合输送机构及行星转动工作架。测试表明本装置是一台先进的半导体工艺设备，７５ｍｍ样品的膜厚均匀度不大于５％。

超音速射流-激光电离-静电反射式飞行时间质谱仪的研制

由于飞行时间质谱仪(TOFMS)的应用日益广泛,提高其质量分辨率已成为人们关注的一个目标。1955年Wiley和Mclaren提出二步加速场原理。1973年Karataev等制成反射式飞行时间质谱仪(RETOFMS)。E.W.Schlag的小组于1984年报道了以多光子电离(MPI)作为RETOF的离子源的工作。MPI产生的离子分布范围小(<0.1 mm)、形成时间短(几个纳秒或更短)并且可以进行波长选择,是TOFMS理想的离子源。

日光温室CO_2自动施肥系统的研制

研制了具有自动化特征的CO2 施肥系统及其技术 ,并对该项技术的施肥效果进行了试验。结果表明 :利用此装置 ,日光温室内的CO2 浓度均匀程度较好 ,经济上可行 ,且气源来源广泛 ,长期施用对大气和土壤无污染。

激光制备Si_3N_4纳米粉光学系统装置的研制

激光制备Ｓｉ３Ｎ４纳米粉是国内制备纳米材料的主要方法之一，本文概述了激光合成过程中、光学系统装置的设计原理、研制要点及解决关键部件的工艺加工方法。

极高真空溅射离子泵的研制

研制出了获得极高真空的溅射离子泵，该溅射离子泵４小时烘共烤后温度降至１００℃，装磁钢，妄动离子泵进行敢，３４小时后压力达５．８×１０＾－１０Ｐａ。从抽速实验结果来看，该泵在１０＾１０Ｐａ时仍有１００Ｌ／ｓ的抽速。说明此泵在较 压力下仍有较强的潘宁放电。

新型电子定位清管器的研制

介绍了一种新型中子定位清管器的工作原理、特点及应用。

关于真空仪器设备市场营销管理的探讨

提出了仪器设备生产企业市场营销面临的问题 ,对问题出现的各种原因进行了分析 。

UHVT/UHVT-1A表面分析仪器的综合配套装置及某些真空部件的试制

介绍了研制的多功能样品预处理装置和超高真空表面分析摩擦实验装置及其性能指标，以及试制一些真空功能器件的情况。

LSC-Ⅰ型PCVD非晶硅太阳能电池设备的研制

一、前言 LSC-Ⅰ型PCVD非晶硅太阳能电池设备系我中心为国家'七五'攻关项目(75-70-05-15)专题而专让设计制造的一台线列式七室连续沉积设备,该设备于1991年3月30日通过了国家教委鉴定。评审专家一致认为,该设备结构新颖、设计合理、性能优良、技术指标先进、开发潜力大。

蔬菜农药残留检测的红外光谱法研究

对常用高残留农药敌百虫和敌敌畏在蔬菜汁溶剂中的中红外衰减全反射光谱 (ATR)数据进行了研究。在中红外两种农药特征吸收区域 ,蔬菜中的各种色素对农药的特征吸收基本没有干扰 ;农药在蔬菜汁溶液中与在标准试剂溶液中反映出基本相同的吸收特性。研究结果表明 ,应用红外光谱技术可以直接对蔬菜上的农药残留进行检测 ,通过农药在水中的吸收建立模型来模拟其在蔬菜体内的吸收 。

干式罗茨真空泵吸气级内流动的瞬态模拟

基于动网格方法建立了干式真空泵罗茨型吸气级的三维瞬态数值计算模型。模拟结果与抽速曲线对比,入口压力为1000 Pa时误差为11.5%,100 Pa时误差为34.2%,表明计算流体力学(CFD)方法不适用于入口压力较低及极限真空时真空泵内的流动研究,但在入口压力较高时具有较好的数值精度。由于干式真空泵的主要设计问题多集中于入口压力较高,负荷较大的运行工况,应用CFD方法研究干式真空泵的流动特性具有实用价值。文中计算了真空泵的性能参数,分析了泵腔内的流动现象和流场的主要特征。

三轴罗茨真空泵的抽气理论和结构设计

新兴行业的不断兴起给真空泵带来了快速发展的机遇,同时也对真空泵的集成化、高效率、节约空间、高技术含量提出了更高的要求。本文提出了一种三轴式的罗茨真空泵,对其抽气过程进行了介绍,并基于啮合原理,给出了一种典型的四叶圆弧型转子的型线方程。通过对抽气过程的建模分析,在抽气效率、压缩比、旋转应力和热变形等方面,与常规的双轴式罗茨真空泵进行了对比。计算和模拟结果表明,在空间尺寸增加不多的情况下,三轴式罗茨真空泵具有接近两倍的抽速、良好的压缩比和更好的动平衡特性的特点,具有较好的技术优势和发展前景。

多级罗茨干泵泵内传热与变形的计算和实验研究

间隙设计是多级罗茨干泵设计的重要参数之一。在多级罗茨干泵运转时,间隙受转子和泵腔热变形的影响较大。本文通过分析了多级罗茨干泵内部的传热过程,建立了工作过程的传热模型。通过接触式和非接触式测温方法,对多点温度进行了测量,获得了热载荷的边界条件。基于ANSYS软件,对泵体及转子轴在稳定运转时的温度场进行了分析,并采用热-结构耦合分析对其热变形进行了计算,得到转子轴和泵腔的热变形量,并绘制了变形云图和曲线。通过上述方法得到的热变形数据,为确定间隙提供了参考,并为进一步计算干泵在运行时的间隙泄漏量提供了计算依据。

圆弧包络线在罗茨转子型线设计中的应用

罗茨转子是罗茨鼓风机、罗茨压缩机、罗茨流量计和罗茨真空泵等设备中最关键的核心部件。罗茨转子的设计成功与否,对这些设备的性能至关重要。本文使用计算机动画编程的方法,对圆弧包络线的生成和性质进行了研究,并将其应用于罗茨转子型线的设计中。文中还引入了形状系数c和峰顶系数c1,详细给出不同类型的圆弧型线的罗茨真空泵容积利用系数随形状系数c和峰顶系数c1的变化情况。文末给出了一个转子加工的实例。

非调质N80钢热浸镀55%Al-Zn合金助镀剂的研究

研究了石油管常用材质非调质N80钢热浸镀55%Al-Zn合金的助镀工艺,确定了最佳助镀方法为电解活化加浸4%K2ZrF6水溶液的助镀法.扫描电子显微镜观察了镀层显微组织,采用全浸实验法及塔菲尔极化曲线测试法研究了55%Al-Zn合金镀层在NaCl水溶液中的耐蚀性.结果表明,经此方法助镀的热镀试样无漏镀、虚镀等缺陷,表面平整光滑;热浸镀55%Al-Zn合金镀层可显著提高非调质N80钢的耐蚀性,且镀层具有电化学保护作用.

一种适于直排大气的罗茨干泵转子的型线与结构

IC装备制造业是国家发展战略的重要行业。在该行业中,70%的工作需要在对洁净度要求苛刻的真空环境下进行。而在用于IC装备制造业的干式罗茨泵中,一对罗茨转子的生产成本占总成本的40%左右。罗茨转子是罗茨真空泵的最关键的核心部件。本文基于啮合原理,通过计算机动画编程和理论计算,提出一种适合直排大气罗茨干泵的转子型线,并对型线和转子结构进行改进,使加工更为简单。分析了容积利用系数和转子间隙分布,并得出结论:(1)改进型线的容积利用系数的改变量在5%以内,对抽气性能影响不大;(2)转子啮合时的间隙分布绝对误差在0.025mm以内,并不影响泵的热力学及抽气性能,验证了结构改进的合理性。文末还介绍了一个改进结构罗茨转子加工的实例。

非晶硅太阳电池窗口层材料掺硼非晶金刚石的研究

以固态掺杂方式利用过滤阴极真空电弧技术制备掺硼非晶金刚石薄膜,获得性能优良的宽带隙p型半导体材料,再利用等离子增强化学气相沉积技术制备p-i-n结构非晶硅太阳电池的本征层和n型层,最终制成以掺硼非晶金刚石薄膜为窗口层的非晶硅太阳电池.利用Lambda950紫外-可见光分光光度计表征薄膜的光学带隙,并测试电池开路电压、短路电流、填充因子以及转化效率等参数,再分析电池的光谱响应特性.实验表明,掺硼非晶金刚石薄膜的光学带隙(～2.0eV)比p型非晶硅更宽,以掺硼非晶金刚石薄膜用作非晶硅太阳电池的窗口层,能够改善电池的光谱响应特征,并提高转化效率达10%以上.

UHV/CVD 设备及其特性

本文描述超高真空化学气相淀积系统（ＵＨＶ／ＣＶＤ）的设计思想、系统的结构和性能，着重介绍超高真空的获得和系统的特点，将为“第二代硅”ＳｉＧｅ／Ｓｉ异质结材料的生长及未来的光电子集成提供有力的工具。