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大气等离子体加工过程的原子发射光谱研究
1
作者
金江
李娜
+2 位作者
徐录
王波
金会良
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第2期535-539,共5页
大气等离子体加工反应过程中,等离子体发生装置的热稳定过程对去除率有直接影响,CF4是化学反应中活性F*原子的提供者,O2是重要的辅助气体。为了寻找这三者对大气等离子体加工反应过程的影响规律,采用大气等离子体加工系统进行加工、光...
大气等离子体加工反应过程中,等离子体发生装置的热稳定过程对去除率有直接影响,CF4是化学反应中活性F*原子的提供者,O2是重要的辅助气体。为了寻找这三者对大气等离子体加工反应过程的影响规律,采用大气等离子体加工系统进行加工、光谱仪监控等离子体反应过程的活性F*原子的光谱变化。实验结果表明,在大气压等离子体加工系统中:热稳定后,活性F*原子强度基本不随时间变化;随着CF4含量的增加,F*原子谱线轮廓发生了自吸收现象,这说明采用光谱法研究CF4含量对活性F*原子含量的影响是不完全准确的;由于O2易和CF4解离的中间产物反应,抑制活性粒子重新组合,因此一定范围内随着O2含量增加,活性F*原子增加。
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关键词
大气等离子体
原子发射光谱
材料去除率
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职称材料
国内大型机床研发朝着高精度的新趋势向前发展
被引量:
1
2
作者
沈文磊
冯宁宁
《科技风》
2015年第7期85-85,共1页
随着我国社会经济的快速发展,作为经济基础的制造业领域内部发生了极大的变化,现代化的高精度加工机床已经成为制造业生产任务,以及生产效率提升的核心因素,因此国内对大型高精度机床的研究始终没有停止。本文将从大型机床高精度发展趋...
随着我国社会经济的快速发展,作为经济基础的制造业领域内部发生了极大的变化,现代化的高精度加工机床已经成为制造业生产任务,以及生产效率提升的核心因素,因此国内对大型高精度机床的研究始终没有停止。本文将从大型机床高精度发展趋势的角度出发,结合国内机床研发的实际,对国内大型机床研发朝着高精度的新趋势向前发展进行简要的分析。
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关键词
大型机床
高精度
新趋势
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职称材料
题名
大气等离子体加工过程的原子发射光谱研究
1
作者
金江
李娜
徐录
王波
金会良
机构
哈尔滨工业大学精密工程研究所
沈阳航动科技开发有限公司
出处
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第2期535-539,共5页
基金
国家自然科学基金项目(51175123
51105112)资助
文摘
大气等离子体加工反应过程中,等离子体发生装置的热稳定过程对去除率有直接影响,CF4是化学反应中活性F*原子的提供者,O2是重要的辅助气体。为了寻找这三者对大气等离子体加工反应过程的影响规律,采用大气等离子体加工系统进行加工、光谱仪监控等离子体反应过程的活性F*原子的光谱变化。实验结果表明,在大气压等离子体加工系统中:热稳定后,活性F*原子强度基本不随时间变化;随着CF4含量的增加,F*原子谱线轮廓发生了自吸收现象,这说明采用光谱法研究CF4含量对活性F*原子含量的影响是不完全准确的;由于O2易和CF4解离的中间产物反应,抑制活性粒子重新组合,因此一定范围内随着O2含量增加,活性F*原子增加。
关键词
大气等离子体
原子发射光谱
材料去除率
Keywords
Atmospheric pressure
Atomic emission spectroscopy
Material removal rate
分类号
O657.3 [理学—分析化学]
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职称材料
题名
国内大型机床研发朝着高精度的新趋势向前发展
被引量:
1
2
作者
沈文磊
冯宁宁
机构
沈阳航动科技开发有限公司
出处
《科技风》
2015年第7期85-85,共1页
文摘
随着我国社会经济的快速发展,作为经济基础的制造业领域内部发生了极大的变化,现代化的高精度加工机床已经成为制造业生产任务,以及生产效率提升的核心因素,因此国内对大型高精度机床的研究始终没有停止。本文将从大型机床高精度发展趋势的角度出发,结合国内机床研发的实际,对国内大型机床研发朝着高精度的新趋势向前发展进行简要的分析。
关键词
大型机床
高精度
新趋势
分类号
TG659 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
大气等离子体加工过程的原子发射光谱研究
金江
李娜
徐录
王波
金会良
《光谱学与光谱分析》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
0
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职称材料
2
国内大型机床研发朝着高精度的新趋势向前发展
沈文磊
冯宁宁
《科技风》
2015
1
下载PDF
职称材料
已选择
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参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
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