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大气等离子体加工过程的原子发射光谱研究
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作者 金江 李娜 +2 位作者 徐录 王波 金会良 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期535-539,共5页
大气等离子体加工反应过程中,等离子体发生装置的热稳定过程对去除率有直接影响,CF4是化学反应中活性F*原子的提供者,O2是重要的辅助气体。为了寻找这三者对大气等离子体加工反应过程的影响规律,采用大气等离子体加工系统进行加工、光... 大气等离子体加工反应过程中,等离子体发生装置的热稳定过程对去除率有直接影响,CF4是化学反应中活性F*原子的提供者,O2是重要的辅助气体。为了寻找这三者对大气等离子体加工反应过程的影响规律,采用大气等离子体加工系统进行加工、光谱仪监控等离子体反应过程的活性F*原子的光谱变化。实验结果表明,在大气压等离子体加工系统中:热稳定后,活性F*原子强度基本不随时间变化;随着CF4含量的增加,F*原子谱线轮廓发生了自吸收现象,这说明采用光谱法研究CF4含量对活性F*原子含量的影响是不完全准确的;由于O2易和CF4解离的中间产物反应,抑制活性粒子重新组合,因此一定范围内随着O2含量增加,活性F*原子增加。 展开更多
关键词 大气等离子体 原子发射光谱 材料去除率
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国内大型机床研发朝着高精度的新趋势向前发展 被引量:1
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作者 沈文磊 冯宁宁 《科技风》 2015年第7期85-85,共1页
随着我国社会经济的快速发展,作为经济基础的制造业领域内部发生了极大的变化,现代化的高精度加工机床已经成为制造业生产任务,以及生产效率提升的核心因素,因此国内对大型高精度机床的研究始终没有停止。本文将从大型机床高精度发展趋... 随着我国社会经济的快速发展,作为经济基础的制造业领域内部发生了极大的变化,现代化的高精度加工机床已经成为制造业生产任务,以及生产效率提升的核心因素,因此国内对大型高精度机床的研究始终没有停止。本文将从大型机床高精度发展趋势的角度出发,结合国内机床研发的实际,对国内大型机床研发朝着高精度的新趋势向前发展进行简要的分析。 展开更多
关键词 大型机床 高精度 新趋势
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