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石英晶体真空退火炉控温系统设计研究
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作者 崔京华 王惠贞 苗旭辉 《河南科技》 2021年第8期50-52,共3页
众所周知,在真空热处理诸多工艺中,真空退火是最具代表性的工艺之一。真空退火最常用的设备是真空退火炉。真空退火炉的工作原理是利用技术来对温度进行精准调控,温度调控精度的高低会对工件综合质量产生至关重要的影响。因此,真空退火... 众所周知,在真空热处理诸多工艺中,真空退火是最具代表性的工艺之一。真空退火最常用的设备是真空退火炉。真空退火炉的工作原理是利用技术来对温度进行精准调控,温度调控精度的高低会对工件综合质量产生至关重要的影响。因此,真空退火炉智能温度控制系统的设计与探究一直以来都备受关注。本文以石英晶体真空退火炉为主要研究对象,对智能温度控制系统的相关内容进行深入分析和探究。 展开更多
关键词 石英晶体 真空退火炉 智能温度控制系统
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