SiC/Si上六方YMnO_3薄膜的制备和铁电性能

采用化学溶液法在SiC/Si上制备了YMnO3薄膜。XRD结果显示所制备的薄膜为六方YMnO3,且具有部分择优取向生长。拉曼光谱和XPS的结果验证了样品为六方纯相YMnO3。以Pt为顶电极,测试了YMnO3薄膜的电滞回线,结果显示YMnO3薄膜具有良好的铁电性质。