关于低辐射镀膜玻璃掉渣问题(针孔缺陷)预防措施的研究

针对离线真空磁控溅射法中不可避免的掉渣现象(即针孔缺陷问题),依据概率统计法,提出调整玻璃校正位置改变玻璃基片在镀膜舱室的不同溅射位置的方法,延缓掉渣频发的时间,降低掉渣缺陷发生的概率,最终达到提高产品的质量和良品率的目的。将此种方法通过生产实践试验与未采用此方法前数据做比较,结果表明掉渣的频率有了明显降低,正常生产产品的时间有了显著地延长,低辐射镀膜玻璃的良品率有了显著的提高。