轻量化碳化硅反射镜古典光学加工研究

介绍了一类轻量化碳化硅反射镜的古典光学加工方法。其中精磨阶段,应用金刚砂和碳化硼分别对镜体进行了精磨试验。结果表明,在相同精磨时间下,碳化硼散粒磨料(240#)的磨削量至少比金刚砂散粒磨料大0.01 mm,切削效果明显优于金刚砂散粒磨料,并形成载荷50 N,主轴转速45 r/min的精磨最佳工艺参数;抛光阶段,以柏油抛光模为基底,分别使用氧化铈抛光液和钻石液对镜体进行抛光,结果表明钻石液可有效改善零件的面形和表面质量,并形成载荷为30 N,主轴转速为60 r/min的抛光最佳工艺参数。分别使用W1和W0.3两种粒度的钻石液对镜体抛光,可使镜体面形最佳达到低光圈3道,表面光洁度良好,无明显路子与亮点。由于镜体结构的特殊性导致其抛光难度较大,继续应用环形抛光机对镜体进行无应力抛光,修改镜体局部不规则度,最终零件不规则度可满足1道光圈。

小曲率透镜的高效加工工艺

应用德国LOH公司生产的SPM-60数控铣磨机和SPS-60数控抛光机,开展了对小曲率透镜高效加工工艺的研究。通过利用正交试验,确定了抛光中对元件面形影响显著的因素,并利用单因素实验确定了最佳的工艺参数,其中抛光模转速700 r/min,抛光模压力0.16 bar,抛光时间500 s,结合元件在铣磨、精磨后的面形,统筹安排零件的加工次序,最终实现小曲率透镜的高效加工工艺。