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基于偏振激光干涉技术的波长计 被引量：3
1
作者 许素安 钟绍俊 +3 位作者 孙坚 陈乐 Chassagne Luc Topcu Suat 《计量学报》 CSCD 北大核心 2013年第3期217-220,共4页
提出了一种基于偏振激光干涉技术的波长计，该波长计能在微米行程上实现10^-6的测量精度，位移行程的缩减有效地减小了环境温度、波长漂移、空气折射率对测量精度的影响。给出了两种未知激光源（DL100-Toptica和Nd：YAG）的波长测量值... 提出了一种基于偏振激光干涉技术的波长计，该波长计能在微米行程上实现10^-6的测量精度，位移行程的缩减有效地减小了环境温度、波长漂移、空气折射率对测量精度的影响。给出了两种未知激光源（DL100-Toptica和Nd：YAG）的波长测量值及不确定度值，同时还给出了该波长计与商用波长计的比对结果。 展开更多
关键词 计量学 波长计 偏振干涉 精度 位移行程 比对
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偏振激光干涉仪的纳米定位系统 被引量：1
2
作者 许素安 Luc Chassagne +2 位作者 Suat Topcu Yasser Alayli 李东升 《中国计量学院学报》 2009年第2期118-121,共4页
详细阐述了用于纳米定位的偏振激光干涉仪的原理,并介绍了基于该偏振仪的纳米定位控制方法.该方法已由实验论证,实验位移系统的最小步长实测值为5 nm.并对系统的最小位移步长、重复性和分辨率做了详细的分析,在系统环境控制条件下适用... 详细阐述了用于纳米定位的偏振激光干涉仪的原理,并介绍了基于该偏振仪的纳米定位控制方法.该方法已由实验论证,实验位移系统的最小步长实测值为5 nm.并对系统的最小位移步长、重复性和分辨率做了详细的分析,在系统环境控制条件下适用于毫米行程位移,可应用于纳米计量和纳米加工. 展开更多
关键词 偏振干涉仪 锁相回路 纳米定位
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