彩膜曝光机自动补偿功能在高精细产品中的应用研究

薄膜晶体管-液晶显示行业(TFT-LCD)高精细产品需求越来越多,尤其当8.5代及以上大世代线生产手机等小尺寸产品时,彩膜曝光机的曝光均一性及叠层(Overlay)精度难以保证的问题突出,影响大世代线高精细产品的开发及生产。通过对彩膜曝光机自动补偿功能的研究,发现使用曝光机的间距(Gap)自动补偿,将差值自动补正到每个区域(Shot)中,使每个区域曝光间距更接近实际间距,使区域间间距差异变小,可以保证曝光均一性;另外,通过使用曝光机的新型光路自动补偿系统,根据每枚基板整体形变和黑矩阵(BM)工艺的区域形变的实际形变量进行更有效的补偿,得到更匹配BM的区域形状,可以提高叠层精度。当彩膜曝光机可以保证曝光均一性和叠层精度,则可为大世代线开发和生产更多小尺寸高精细产品提供支持。