硅铝酸盐分子筛对HCl电子气体的深度除水性能研究

耐HCl和水协同腐蚀、低二次杂质释出是吸附材料用于HCl电子气体深度除水的先决条件。在考察了一系列工业化硅铝酸盐分子筛的耐蚀性、杂质释出和真实HCl电子气体环境下的深度除水性能后证实,硅铝酸盐分子筛的耐蚀性和除水性能与硅铝摩尔比(SiO_(2)/Al_(2)O_(3)摩尔比)密切相关。硅铝摩尔比为2的分子筛耐蚀性较差,硅铝摩尔比为16~360的分子筛均具有较好的耐蚀性;硅铝摩尔比介于2~300之间的分子筛可将HCl电子气体中约2μL/L水分脱除至130~200 n L/L,除水效率与速度均随硅铝摩尔比增加呈下降趋势。根据上述规律开发的MS-1分子筛可脱除HCl电子气体中的水分至约160 nL/L,MS-1分子筛经改性后则可将水分除至<100 nL/L,且对HCl中的金属离子无显著影响。

基于表面官能团反应的HCl电子气体深度除水研究

HCl电子气体是集成电路制程中刻蚀和清洗的关键气体,其水分、金属离子等有害杂质需严格控制,ppbv(10-9)级深度除水对保障HCl电子气体的纯度、品质稳定性和制程应用效果至关重要。常规活性炭虽然耐HCl腐蚀,具有较高比表面积,但除水活性有限。该工作对活性炭进行了酰氯化修饰,并研究了酰氯化活性炭对HCl电子气体的深度除水作用。结果表明,活性炭经氧化酸化和酰氯化处理后,形成的表面酰氯化官能团可选择性地与HCl电子气体中的ppmv(10-6)级水分反应,将水分转化为HCl,使HCl电子气体中水分降至ppbv级,同时自身水解生成表面羧基等官能团,对存在HCl电子气体中和活性炭可能释出的痕量金属离子,有吸附阻滞作用,抑制了深度除水后HCl电子气体中金属离子的显著增加。由于表面羧基等官能团可重新酰氯化,活性炭材料对HCl电子气体的高效、选择性深度除水能力再生成为可能。该工作也为探索石墨烯、碳纳米管等新型碳材料在电子气体深度纯化上的新应用提供了依据。

HCl电子气体超纯纯化技术研究

报道了负载型超纯纯化材料及实验纯化器自主研发进展。通过超纯纯化,5N HCl电子气体中的水分,可由10-6(体积分数)级降至100×10-9(体积分数)以下,且重现性良好,水分最低降至12×10-9(体积分数);纯化过程不额外释出痕量的挥发性金属杂质,对HCl中的多数金属杂质有吸附滞留作用。

基于S71500系统的Profibus-DP通信在称重系统中的应用实例

通过建立S7-1500 PLC和梅特勒托利多IND331称重仪表的Profibus-DP通信网络,解决自动化充装系统中高精度和快速响应的数据需求,详细讲解了IND331仪表的参数设置、GDS文件和PLC通信程序设计。

镍基催化剂的二氧化碳甲烷化催化性能

为循环利用CO_2,减少其排放,减缓温室效应,分析讨论了镍基催化剂对CO_2甲烷化的催化性能,介绍了以Si O_2、海泡石、Si C、碳纳米管、Al_2O_3、Ti O_2及Zr O_2为载体的镍基催化剂性能。认为以Zr O_2为载体的催化剂对于CO_2甲烷化反应的催化活性远远高于Mg O、Al_2O_3、Si O_2和海泡石负载的催化剂,工业化前景较好。开发新的催化剂不仅要考虑载体价廉易得、成本较低,还必须考虑催化剂的高活性和稳定性、避免积碳和烧结等因素。

电感耦合等离子体原子发射光谱法测定氟化氢气体中16种金属元素

基于电子工业对氟化氢气体中金属离子含量的严格要求,以自制的简单的气体吸收装置吸收氟化氢气体,通过吸收前后吸收液的质量变化得到氟化氢的质量,采用附带耐氢氟酸进样系统的电感耦合等离子体原子发射光谱仪(ICP-AES)在最优的仪器工作条件下测定吸收液中的钾、镁、铝、钡、锌、铬、钴、镉、铁、铜、镍、铅、锰、钠、钙和锡等16种金属元素的含量。结果表明:16种金属元素的质量浓度均在一定范围内与其对应的光谱强度呈线性关系,相关系数均大于0.999 0,检出限(3s)为0.10~6.0μg·L^-1,测定值的相对标准偏差(n=11)为0.96%~5.0%。

绿色化工技术在化学工程中的发展策略

当前,要积极开展生态环境保护,并坚持节能环保技术理念,确保社会经济和各项生产作业不断朝着健康稳定的方向发展,为人们日常生活及身体健康提供一定的保障,同时,要充分体现自然生态和节能环保效果。而在我国社会各个领域发展中,化学工程尤为重要,其产生的污染环境问题较为明显,解决化学工程生产中所产生的污染问题,是有关企事业单位重点考虑的问题之一。通过运用绿色化工生产技术,能够最大限度地控制化学生产工艺中所存在的各类污染问题,从而推动我国化学工程朝着环保健康的方向发展。

SPC在高纯特气生产中的应用

结合高纯特气实际生产过程中的特点,介绍了统计过程控制(SPC)在高纯特气生产过程管控中的应用,分析了单值-移动极差控制图和不相等样本容量的均值-全距控制图的应用。认为SPC是建立在时间先后顺序上的过程管控,只有先后顺序清晰制定SPC控制图才能真实的反应过程情况,过程能力指数分析需要结合SPC控制图才能准确的表征一个过程的实际能力。SPC的应用有助于高纯特气体生产过程的管控和产品品质的改善。

高纯氟化氢中微量杂质气体测定

采用气相色谱分析系统,建立了一种精准测定高纯氟化氢(HF)中微量杂质气体的方法。以高纯氦为载气,高纯HF经专用除水装置除水、预分离柱分离、反吹处理,气体杂质通过分子筛柱和Hayesep柱分离后进入氦放电离子化检测器(DID),用外标法定量分析微量杂质组分H2、O2+Ar、N2、CH4、CO和CO2,体积分数检出限可达10^-8,相对标准偏差(RSD)<5%。该方法准确、可靠、精密度好,能够精准检测HF气体中的微量气体杂质。

砷斑法检测萤石中的砷含量

提出了砷斑法测定萤石中砷的方法。以碘化钾和氯化亚锡将As(V)还原为As(III),采用变色的试纸与标准色斑比较,测定砷含量,并对样品处理、样品测定、重复性、再现性和实验室之间数据进行了对比。结果表明,该法分别具有良好的线性和重复性(相对偏差0.04%),回收率为90.00%～97.50%。结果与ISO 9505-1992的分光光度法检测结果无显著性差异。