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极紫外与X射线高精度薄膜光学系统关键技术及应用
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作者 王占山 黄秋实 +8 位作者 伊圣振 张众 齐润泽 余俊 张哲 李文斌 盛鹏峰 余越 蒋励 《中国科学:物理学、力学、天文学》 CSCD 北大核心 2024年第11期2-14,共13页
极紫外与X射线(XUV)光学系统在物质微观结构探测和高能物理等前沿科学和重大工程方面有重要应用.本文建立了XUV薄膜表界面散射/反射的理论计算模型,发展了融合器件性能与系统结构误差的XUV光线追迹仿真方法;创建了XUV纳米多层膜界面缺... 极紫外与X射线(XUV)光学系统在物质微观结构探测和高能物理等前沿科学和重大工程方面有重要应用.本文建立了XUV薄膜表界面散射/反射的理论计算模型,发展了融合器件性能与系统结构误差的XUV光线追迹仿真方法;创建了XUV纳米多层膜界面缺陷解耦表征和生长调控方法,发展了数百毫米尺寸-几十皮米精度的多层膜镀制技术,研制了高效率XUV多层膜光栅新元件;发展了XUV掠入射和正入射成像系统的高精度集成装调技术,研制了系列X射线多通道KB成像和极紫外成像系统,成功应用于我国激光惯性约束聚变、同步辐射大科学装置和太阳观测任务等. 展开更多
关键词 极紫外与X射线 多层膜 光学系统
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