CO2激光微加工实验台定位精度预测模型研究

为了提高CO2激光微加工实验台定位精度,提出基于LSSVM的直线电机定位精度误差回归建模和预测方法。采用径向基核函数的LSSVM对不同速度和加速度下的直线电机伺服系统定位误差进行了预测。研究结果表明,采用径向基核函数的LSSVM能提高预测精度,取得较好的预测结果。

CO_2激光直写PMMA微流道实验研究

激光直写法制造聚合物微流控芯片是一种新型微细加工技术,为了研究激光加工工艺参数与微流道深度的关系,利用实验室研制的精密实验台进行了CO2激光直写PMMA微流道实验研究。得到了激光功率、扫描速度、激光加工次数与微流道深度的关系,并对流道长度、流道深度和流道宽度的相互关系也进行了研究。实验结果表明,当激光功率在15 W～35 W,扫描速度在0.2 m/s～0.45 m/s范围内,理论模型与实验结果偏差最小,不超过6μm,该范围为最佳激光工艺参数范围。

基于模态分析的静电驱动圆薄板宏模型建立方法

为了研究静电致动圆板静态和动态特性,在模态分析法的基础上,利用多维非线性函数的Levenberg-Marquardt拟合方法,将板的动能、弹性能和电容写成以模态坐标表示的解析式.结合Hamilton原理,导出静电致动微圆板的动力学特性方程的宏模型.以此为基础研究了板的静态特性及其三角波、方波信号激励下的动态响应.结果表明,模态分析方法能够考虑到残余应力的影响,所建立的动态宏模型不仅大大地减少了计算费用,而且具有足够的仿真精度.