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微机电系统的研究内容与发展现状 被引量：6
1
作者 李国平 陈子辰 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2001年第6期389-391,共3页
概述了微机电系统 ( MEMS)的定义和特征 ,从理论基础、技术基础和工程应用三方面 ,阐述了微机电系统的研究内容 ,简要介绍了 MEMS基础技术及
关键词 微机电系统 微执行器 微传感器 集成电路
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