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化学在半导体硅材料制造业的作用与展望 被引量:1
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作者 吴雄杰 饶伟星 《化工生产与技术》 CAS 2002年第6期18-20,共3页
针对半导体集成电路行业的迅猛发展,概述了作为半导体工业基础的半导体硅材料在近20年来的发展状况,着重阐明了当代化学技术及其产品对硅材料制造业发展的重要作用,以及随着硅材料业向更高层次的迈进,给化学化工行业带来的挑战与机遇。
关键词 半导体集成电路 半导体硅材料 化学技术 研磨液 抛光浆
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我国电子化学品产业的发展现状及前景 被引量:5
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作者 吴雄杰 裘霞敏 《浙江化工》 CAS 2003年第6期25-27,共3页
针对微电子信息产业的发展对我国电子化学品行业带来的发展机遇,概述了行业发展的现状及超净高纯试剂与光刻胶两大类品种的生产现状、研究方向和市场潜力。
关键词 中国 电子化学品 产业发展 现状 市场前景 微电子技术 集成电路 超净高纯试剂 光刻胶
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