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基于田口方法的合金薄膜铜衬底超精密抛光工艺优化研究
1
作者
朱从容
袁巨龙
+1 位作者
吕冰海
文东辉
《微细加工技术》
EI
2008年第4期58-61,共4页
为了获得性能优良的电化学沉积合金薄膜,需要精度非常高的合金薄膜铜衬底。以铜衬底表面粗糙度Ra和Rt为评价目标,探讨了基于田口方法的铜衬底抛光工艺参数优化设计方法。在给定工件材料和磨料(种类和粒度)的条件下,加工载荷、磨料浓度...
为了获得性能优良的电化学沉积合金薄膜,需要精度非常高的合金薄膜铜衬底。以铜衬底表面粗糙度Ra和Rt为评价目标,探讨了基于田口方法的铜衬底抛光工艺参数优化设计方法。在给定工件材料和磨料(种类和粒度)的条件下,加工载荷、磨料浓度和加工速度是影响铜衬底抛光表面质量的主要工艺参数。运用田口方法进行了实验设计,并通过对实验结果的分析,得出了最佳的抛光工艺参数组合,采用该实验条件进行加工获得了非常光滑的铜衬底表面(Ra6 nm,Rt60 nm),表明田口方法能够有效的应用于铜衬底抛光工艺参数的优化设计和分析。
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关键词
田口方法
铜衬底
抛光
工艺优化
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职称材料
PCBN刀具切削中锯齿形切屑形态的动态切削力识别
被引量:
3
2
作者
徐铭
文东辉
+1 位作者
戴勇
王文
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2005年第6期62-65,共4页
精密硬态切削过程锯齿形切屑对动态切削力、切削温度波动、PCBN刀具寿命和已加工表面质量有重要作用。本文依据锯齿形切屑锯齿的形成和终了过程可以在动态切削力高频信号中体现出来的特征,采用小波分析硬态切削力的高频信号,分析结果表...
精密硬态切削过程锯齿形切屑对动态切削力、切削温度波动、PCBN刀具寿命和已加工表面质量有重要作用。本文依据锯齿形切屑锯齿的形成和终了过程可以在动态切削力高频信号中体现出来的特征,采用小波分析硬态切削力的高频信号,分析结果表明不同形态的锯齿形切屑形态对应不同的切削力高频信号。从切削力高频信号的切削速度、进给量、采样频率和时间可以定性描述锯齿形切屑形态和剪切失稳的特征参数,依据Shaw建立的锯齿形生成频率模型。在精密硬态切削条件下,锯齿形切屑的生成频率要远小于切削力高频信号的频率,高速切削条件下两者频率逐渐趋于相等。实验及分析结果表明可以采用动态切削力的小波分析来判别锯齿形切屑的基本特征。
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关键词
硬态切削
锯齿形切屑
动态切削力
小波分析
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职称材料
题名
基于田口方法的合金薄膜铜衬底超精密抛光工艺优化研究
1
作者
朱从容
袁巨龙
吕冰海
文东辉
机构
浙江
海洋
学院
机电工程
学院
机械系
浙江工业大学
机电工程
学院
超
精密
工程
研究室
湖南
大学
国家高效磨削
工程
技术
研究
中心
出处
《微细加工技术》
EI
2008年第4期58-61,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50475119)
浙江省教育厅科研计划资助项目(20070324)
浙江省重中之重学科开放基金资助项目(56310202018)
文摘
为了获得性能优良的电化学沉积合金薄膜,需要精度非常高的合金薄膜铜衬底。以铜衬底表面粗糙度Ra和Rt为评价目标,探讨了基于田口方法的铜衬底抛光工艺参数优化设计方法。在给定工件材料和磨料(种类和粒度)的条件下,加工载荷、磨料浓度和加工速度是影响铜衬底抛光表面质量的主要工艺参数。运用田口方法进行了实验设计,并通过对实验结果的分析,得出了最佳的抛光工艺参数组合,采用该实验条件进行加工获得了非常光滑的铜衬底表面(Ra6 nm,Rt60 nm),表明田口方法能够有效的应用于铜衬底抛光工艺参数的优化设计和分析。
关键词
田口方法
铜衬底
抛光
工艺优化
Keywords
taguchi method
copper substrate
polishing
parameters optimization
分类号
TG175 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
PCBN刀具切削中锯齿形切屑形态的动态切削力识别
被引量:
3
2
作者
徐铭
文东辉
戴勇
王文
机构
浙江
大学
机械与能源
工程
学院
浙江工业大学机电工程学院精密工程研究室
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2005年第6期62-65,共4页
基金
浙江工业大学人才引进基金
人事部中国博士后基金项目(2003033127)
文摘
精密硬态切削过程锯齿形切屑对动态切削力、切削温度波动、PCBN刀具寿命和已加工表面质量有重要作用。本文依据锯齿形切屑锯齿的形成和终了过程可以在动态切削力高频信号中体现出来的特征,采用小波分析硬态切削力的高频信号,分析结果表明不同形态的锯齿形切屑形态对应不同的切削力高频信号。从切削力高频信号的切削速度、进给量、采样频率和时间可以定性描述锯齿形切屑形态和剪切失稳的特征参数,依据Shaw建立的锯齿形生成频率模型。在精密硬态切削条件下,锯齿形切屑的生成频率要远小于切削力高频信号的频率,高速切削条件下两者频率逐渐趋于相等。实验及分析结果表明可以采用动态切削力的小波分析来判别锯齿形切屑的基本特征。
关键词
硬态切削
锯齿形切屑
动态切削力
小波分析
Keywords
hard turning
saw-tooth chip
dynamic cutting forces
wavelet analysis
分类号
TG711 [金属学及工艺—刀具与模具]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于田口方法的合金薄膜铜衬底超精密抛光工艺优化研究
朱从容
袁巨龙
吕冰海
文东辉
《微细加工技术》
EI
2008
0
下载PDF
职称材料
2
PCBN刀具切削中锯齿形切屑形态的动态切削力识别
徐铭
文东辉
戴勇
王文
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2005
3
下载PDF
职称材料
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