硅片超精密磨床的发展现状

超细硅晶圆磨床是半导体集成电路(IC)生产的重要设备。主要应用于IC制程芯片的制作与处理,以及IC后处理芯片的粘接。国外超精密硅片研磨设备的生产技术得到了快速的发展,其特点是精度高、集成化、自动化。文中主要阐述了超细研磨技术在超细硅片(φ300 mm)上的应用。对国外超细铣床的性能进行了全面的综述。最后,提出了大尺寸硅晶圆超精密制造技术的发展方向。