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ITO陶瓷靶1MPa纯氧1600℃程控烧结电炉的研制 被引量:3
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作者 李锦桥 《陶瓷学报》 CAS 2002年第2期142-144,共3页
介绍了ITO陶瓷靶烧结工艺用电炉的研制过程 ,论述了其安全性解决方案、关键材料的选择、压力容器的设计要点。该电炉为国内首台高压纯氧烧结电炉。
关键词 ITO陶瓷靶 1MPa纯氧 程控烧结电炉 研制 烧结靶
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铟锡氧化物陶瓷靶的现状 被引量:4
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作者 李锦 《江苏陶瓷》 CAS 2000年第1期9-11,共3页
详细论述了铟锡氧化物陶瓷靶(ITO陶瓷靶)的生产工艺性能要求 ,重点介绍了利用ITO陶瓷靶生产的电子溅射产品———ITO透明导电膜玻璃的应用前景。
关键词 铟锡氧化物 ITO 陶瓷靶 导电膜玻璃 电子陶瓷
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SYGT节能双通道逆向高温推板电窑的研制
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作者 盛华生 李锦桥 《信息产品与节能》 2000年第1期14-16,共3页
本文论述了SYGT双通道逆向高温推板电窑的技术性能、采用的关键技术和节能特点。
关键词 推板电窑 双通道 节能 陶瓷
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