面板检测用显微镜光学系统设计

为了实现对面板上缺陷精细分析和分类,设计了可见光波段、数值孔径为0.42的复消色差平场显微物镜和照明光学系统。通过合理结构优化、光焦度分配和材料的选择,优化出平场复消色差物镜,使其MTF曲线接近衍射极限。采用科勒照明匀光方案,设计照明光学系统,并用Lighttools软件对照明光学系统进行仿真。实验表明,光学系统分辨率达到0.775μm,在成像视场范围内照明均匀性可以达到98%以上。设计结果与实际测试结果一致,可满足高精度面板检测使用要求。

一种基于光致变色材料的超分辨加工技术

本文提出了一种新的基于材料光致变色特性来制造超高分辨率纳米结构技术。这种方法可以大大简化目前复杂的超高分辨率加工配置。同时,通过理论模拟圆环光束的大小对聚焦区域光强分布的影响,发现当环状聚焦光大小为60 nm,光致变色层厚度为0.1 μm时可以实现87 nm的“纳米刻针”系统。

液晶可调滤光器的空间热适应性研究与改进设计

针对液晶可调滤光器所处的空间热环境设计了热真空及高低温循环试验方案,旨在通过试验验证液晶可调滤光器在空间热环境下的器件光学性能。热环境试验的结果表明,液晶可调滤光器的光谱曲线较试验前仅漂移不超时0.1倍带宽,透过率降低不超过2%。为确保器件在空间温度环境下的性能更加可靠,又设计了液晶可调滤光器的热控改进方案,将工作温度控制在35±0.5℃。仿真结果表明LCTF器件经过合理的温控设计完全可以适应空间热环境。