磁过滤真空阴极弧沉积技术制备及在刀具上的实验

研究了一种阴极弧沉积方法。将高端刀具放置在等电势的半球状栅网中进行钛氮化物沉积,在200V的负偏压下,完全避免了电弧的产生,X射线光电能谱(XPS)的结果表明在室温下成功地在刀具材料上沉积了钛氮化物薄膜。