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洁净室洁净度分级标准探究
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作者 杨新宇 王尧 +1 位作者 王大千 夏群艳 《洁净与空调技术》 2024年第1期42-48,共7页
鉴于科技的进步和实验经验,ISO/TC 209出台ISO14644-1:2015《按粒子浓度划出空气洁净度等级》Classification of air cleanliness by particle concentration比ISO14644-1:1999《空气洁净度等级》Classification of air cleanliness技... 鉴于科技的进步和实验经验,ISO/TC 209出台ISO14644-1:2015《按粒子浓度划出空气洁净度等级》Classification of air cleanliness by particle concentration比ISO14644-1:1999《空气洁净度等级》Classification of air cleanliness技术概念更清晰,使用更方便;实事求是,更赋灵活性:分级表中,所有浓度值都是累积,包括所有大于等于关注粒径(Considered particle size)的粒子的最大允许浓度值(Maximun allowable concentration siae),浓度限值。区域粒子浓度太高,浓度限值不适用;或者由于低浓度时采样和统计方法的局限性区域分级不适用。按统计学技术概念,决定检测洁净度最少采样点数N_(L);N_(L)值与洁净度无直接关联。作为标准应用的补充,超净环境检测需关注超高过滤器滤材最易穿透粒径MPPS,Most penetrating particle size。 展开更多
关键词 粒子 关注粒径 占有状态 空态as-built 静态at-rest 动态operational 浓度限值 最易穿透粒径MPPS 置信度
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