基于视觉显著性的LED晶圆自动提取系统

晶圆目标提取是晶粒计数系统的重要处理环节,是确保晶粒计数准确度的前提条件。目前主要应用阈值化方法将晶圆目标从背景中提取出来,由于离型纸固有因素影响,造成成像灰度不均匀,严重影响晶圆目标范围的有效识别。系统通过对光源的闭环控制,取得合适亮度的晶圆图像后,在Harris轮廓点的外围区域确定边界,通过内部区域对边界的连接度来检测区域中的晶圆视觉显著性目标。试验证明,该系统能精确地在离型纸背景上有效提取晶圆目标。