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氮流量对掺氮氧化亚铜薄膜性能的影响
1
作者
邱奕斌
陈倩倩
+3 位作者
叶凡
蔡兴民
张东平
范平
《深圳大学学报(理工版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第5期525-530,共6页
氧化亚铜在光伏及光催化等领域有潜在应用,掺氮能增加其空穴浓度从而提高电导率,但氮在氧化亚铜的状态仍未被深入研究.在溅射压强等参数不变的条件下,逐步增加氮气流量,制备了一系列纯相的氮掺杂的氧化亚铜,并用X射线衍射、台阶仪、扫...
氧化亚铜在光伏及光催化等领域有潜在应用,掺氮能增加其空穴浓度从而提高电导率,但氮在氧化亚铜的状态仍未被深入研究.在溅射压强等参数不变的条件下,逐步增加氮气流量,制备了一系列纯相的氮掺杂的氧化亚铜,并用X射线衍射、台阶仪、扫描电子显微镜、能量色散谱仪、拉曼光谱、X射线光电子能谱仪、霍尔效应及分光光度计等方法对所得样品进行分析.霍尔效应测试结果表明,氮掺杂能使氧化亚铜薄膜空穴浓度提高1个数量级.禁带宽度随氮气流量的增加而逐渐减小,氮在氧化亚铜中以β-N(氮原子)、α-N 2(分子态氮,—N N—)及γ-N 2(分子态氮,N≡N)3种形式存在,随着氮流量的增加,β-N的结合能的峰强不断增强,而α-N 2的结合能的峰强不断减弱.氮流量为2标准立方厘米每分钟(sccm)时所得样品的电阻率最小.
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关键词
凝聚态物理学
氧化亚铜
氮掺杂
磁控溅射
光电性能
薄膜性质
下载PDF
职称材料
题名
氮流量对掺氮氧化亚铜薄膜性能的影响
1
作者
邱奕斌
陈倩倩
叶凡
蔡兴民
张东平
范平
机构
深圳
大学
物理与
光电工程学院
深圳市薄膜物理与应用重点实验室
出处
《深圳大学学报(理工版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第5期525-530,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(61674107)
深圳市科技计划资助项目(JCYJ20170302150335518)
深圳市重点实验室资助项目(ZDSYS20170228105421966)~~
文摘
氧化亚铜在光伏及光催化等领域有潜在应用,掺氮能增加其空穴浓度从而提高电导率,但氮在氧化亚铜的状态仍未被深入研究.在溅射压强等参数不变的条件下,逐步增加氮气流量,制备了一系列纯相的氮掺杂的氧化亚铜,并用X射线衍射、台阶仪、扫描电子显微镜、能量色散谱仪、拉曼光谱、X射线光电子能谱仪、霍尔效应及分光光度计等方法对所得样品进行分析.霍尔效应测试结果表明,氮掺杂能使氧化亚铜薄膜空穴浓度提高1个数量级.禁带宽度随氮气流量的增加而逐渐减小,氮在氧化亚铜中以β-N(氮原子)、α-N 2(分子态氮,—N N—)及γ-N 2(分子态氮,N≡N)3种形式存在,随着氮流量的增加,β-N的结合能的峰强不断增强,而α-N 2的结合能的峰强不断减弱.氮流量为2标准立方厘米每分钟(sccm)时所得样品的电阻率最小.
关键词
凝聚态物理学
氧化亚铜
氮掺杂
磁控溅射
光电性能
薄膜性质
Keywords
condensed matter physics
Cu 2O
nitrogen-doping
magnetron sputtering
optical and electric property
characteristics of thin film
分类号
O469 [理学—凝聚态物理]
O47 [理学—半导体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氮流量对掺氮氧化亚铜薄膜性能的影响
邱奕斌
陈倩倩
叶凡
蔡兴民
张东平
范平
《深圳大学学报(理工版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
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