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高功率脉冲磁控溅射技术沉积硬质涂层研究进展 |
王启民
张小波
张世宏
王成勇
伍尚华
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《广东工业大学学报》
CAS
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2013 |
31
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2
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全自动薄膜应力仪 |
赵升升
程毓
张小波
梁凯
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《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2016 |
4
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3
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Si和316L基片上TiN薄膜微观结构和应力的对比分析 |
赵升升
程毓
张小波
常正凯
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《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2022 |
0 |
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4
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圆形复合式磁控溅射阴极设计及其放电特性模拟研究 |
汪天龙
邱清泉
靖立伟
张小波
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《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2018 |
5
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