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裸露金属电极大气压射频辉光放电研究进展
被引量:
10
1
作者
李和平
李果
+1 位作者
王森
包成玉
《科技导报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第5期81-86,共6页
射频大气压辉光放电等离子体在等离子体辅助刻蚀、薄膜沉积、消毒灭菌、空气净化、战地生化清洗等领域有着非常广阔的应用前景。目前,采用具有裸露金属电极结构的等离子体发生器实现大气压条件下氮气、氧气以及空气等廉价气体的稳定射...
射频大气压辉光放电等离子体在等离子体辅助刻蚀、薄膜沉积、消毒灭菌、空气净化、战地生化清洗等领域有着非常广阔的应用前景。目前,采用具有裸露金属电极结构的等离子体发生器实现大气压条件下氮气、氧气以及空气等廉价气体的稳定射频辉光放电是一项具有挑战性的研究工作。本文以采用诱导气体放电法和局部电场强化法产生纯氮、纯氧及空气的大气压射频辉光放电等离子体以及大气环境下气体流动对等离子体放电特性的影响为重点,综述了裸露金属电极结构的大气压射频辉光放电等离子体电特性实验研究的最新进展。
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关键词
大气压
射频
辉光放电
低温等离子体
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职称材料
题名
裸露金属电极大气压射频辉光放电研究进展
被引量:
10
1
作者
李和平
李果
王森
包成玉
机构
清华大学工程物理系.北京
出处
《科技导报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第5期81-86,共6页
基金
北京市自然科学基金项目(3083021)
北京市科委项目(Z07000200540705)
国家科技支撑计划项目(2006BAE01A08-05)
文摘
射频大气压辉光放电等离子体在等离子体辅助刻蚀、薄膜沉积、消毒灭菌、空气净化、战地生化清洗等领域有着非常广阔的应用前景。目前,采用具有裸露金属电极结构的等离子体发生器实现大气压条件下氮气、氧气以及空气等廉价气体的稳定射频辉光放电是一项具有挑战性的研究工作。本文以采用诱导气体放电法和局部电场强化法产生纯氮、纯氧及空气的大气压射频辉光放电等离子体以及大气环境下气体流动对等离子体放电特性的影响为重点,综述了裸露金属电极结构的大气压射频辉光放电等离子体电特性实验研究的最新进展。
关键词
大气压
射频
辉光放电
低温等离子体
Keywords
atmospheric pressure
radio frequency
glow discharge
low-temperature plasma
分类号
TM83 [电气工程—高电压与绝缘技术]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
裸露金属电极大气压射频辉光放电研究进展
李和平
李果
王森
包成玉
《科技导报》
CAS
CSCD
北大核心
2009
10
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