气相沉积氧化物亚微米晶的凝聚特性研究

利用蒸发沉积系统制备了两种氧化物。SnO亚微米晶沉积生长到单晶硅、钠玻璃和石英玻璃衬底上,并通过控制样品的冷却速率,来研究亚微米晶团簇的特性。利用扫描电镜观测各种样品的表面形貌。当样品的冷却速率达到1 000℃/min时,在硅衬底表面上观察到从平衡生长到分形生长的突变现象。CdO亚微米晶沉积到硅衬底表面上,呈现了多种自组织生长的向日葵状结构。本文对氧化物的生长过程和表面形态的关系进行了讨论。