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生长于微结构内点状结构的成核热力学
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作者 杨国伟 祝精美 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1999年第8期1514-1517,共4页
研究了汽相沉积过程中的衬底表面凹结构的成核热力学，指出可以通过衬底表面微结构设计来控制成核过程以实现点状结构的生长．计算了凹结构内的临界核形成能，表明与平面相比成核优先在凹结构发生．考虑凹结构的“等效势阱”效应，发现... 研究了汽相沉积过程中的衬底表面凹结构的成核热力学，指出可以通过衬底表面微结构设计来控制成核过程以实现点状结构的生长．计算了凹结构内的临界核形成能，表明与平面相比成核优先在凹结构发生．考虑凹结构的“等效势阱”效应，发现凹结构内稳定原子团的生长速率远远大于平面处稳定原子团的生长速率． 展开更多
关键词 汽相沉积 点状结构 成核热力学 微结构
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