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室温纳米压印制备中的共性关键工艺问题 被引量:1
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作者 朱振东 施玉书 +6 位作者 李伟 高思田 李适 李琪 张立辉 李群庆 范守善 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第1期43-47,70,共6页
纳米压印光刻技术具有低成本、高效率、大面积、高分辨、多尺度、良好的工艺兼容性等特点,可用于亚波长光电子器件的研究。提出了硅水合物(HSQ)/聚丙烯酸甲酯(PMMA)双层胶室温纳米压印工艺方法,研究并解决了有关压印光刻胶剩余底膜和纳... 纳米压印光刻技术具有低成本、高效率、大面积、高分辨、多尺度、良好的工艺兼容性等特点,可用于亚波长光电子器件的研究。提出了硅水合物(HSQ)/聚丙烯酸甲酯(PMMA)双层胶室温纳米压印工艺方法,研究并解决了有关压印光刻胶剩余底膜和纳米图形保真性刻蚀转移的两个关键工艺技术问题。以制备特定需求的石英纳米光栅器件为目标,经过工艺优化,成功地实现了周期200 nm、占空比0.5、深宽比5∶1、栅线侧壁垂直且粗糙度小于3 nm的高分辨率亚波长光栅的制备。所提出的双层胶刻蚀方法,有望拓展到纳米标准物质和芯片级光学频率梳器件等对侧壁陡直和粗糙度有严格要求的应用领域。 展开更多
关键词 室温纳米压印 光刻胶剩余 图形转移技术 纳米刻蚀 亚波长光栅
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超顺排碳纳米管场发射电子源在射频离子微推进中和器中的应用 被引量:5
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作者 柳鹏 周段亮 +9 位作者 张春海 潜力 王昱权 马丽永 郭雪伟 王福军 姜开利 范守善 贺建武 康琦 《真空电子技术》 2020年第4期23-27,共5页
本文报告了采用超顺排碳纳米管场发射电子源实现射频离子微推进器离子束流中和控制的研究工作。所报道的超顺排碳纳米管场发射电子源可以在400~500 V的电压下输出约数毫安的电子流,可以满足推进器的中和任务要求,在轨性能良好。具有发... 本文报告了采用超顺排碳纳米管场发射电子源实现射频离子微推进器离子束流中和控制的研究工作。所报道的超顺排碳纳米管场发射电子源可以在400~500 V的电压下输出约数毫安的电子流,可以满足推进器的中和任务要求,在轨性能良好。具有发射电压低,发射电流大,工作稳定可靠的特点。 展开更多
关键词 碳纳米管 场发射 离子推进中和器
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室温纳米压印制备多尺度金碗-金豆纳米天线阵列
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作者 朱振东 施玉书 +5 位作者 李伟 高思田 白本锋 张立辉 李群庆 范守善 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第3期173-180,共8页
金属纳米结构表现出独特的光电效应,在表面等离激元器件、超分辨光学成像、全光集成等领域有广泛应用。针对一种有实际需求的金碗-金豆(PIC)高分辨纳米腔的研制,提出了基于室温纳米压印技术,结合多参数各向异性刻蚀技术,研究并解决金碗... 金属纳米结构表现出独特的光电效应,在表面等离激元器件、超分辨光学成像、全光集成等领域有广泛应用。针对一种有实际需求的金碗-金豆(PIC)高分辨纳米腔的研制,提出了基于室温纳米压印技术,结合多参数各向异性刻蚀技术,研究并解决金碗-金豆多尺度纳米结构加工中关键工艺技术问题。利用双层抗刻蚀剂硅水合物(HSQ)/聚丙烯酸甲酯-聚苯乙烯嵌段共聚物(PMMA-b-PS)在刻蚀工艺中的物化性能转变和差异,发展了多参数刻蚀技术,构造出了直径120 nm渐变的碗形金属结构,同步制备了每个碗中只含一个直径约20 nm金豆,有效避免了刻蚀工艺中纳米颗粒的侧向堆积,提高了器件实际应用品质。 展开更多
关键词 多尺度纳米刻蚀 金碗-金豆(PIC) 室温纳米压印 双层抗刻蚀剂 微相分离
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折衍混合复消色差望远物镜设计的PWC方法 被引量:7
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作者 曾吉勇 金国藩 +1 位作者 王民强 严瑛白 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期1569-1572,共4页
将衍射结构视为折射率无限大的薄透镜,研究了衍射透镜高折射率表示的折衍混合复消色差望远物镜设计的PWC方法;设计了焦距为2000mm、相对孔径为1/15的双片型折衍混合复消色差望远物镜,并与常规三片型纯折射复消色差望远物镜进行了比较,... 将衍射结构视为折射率无限大的薄透镜,研究了衍射透镜高折射率表示的折衍混合复消色差望远物镜设计的PWC方法;设计了焦距为2000mm、相对孔径为1/15的双片型折衍混合复消色差望远物镜,并与常规三片型纯折射复消色差望远物镜进行了比较,结果表明双片型折衍混合复消色差望远物镜具有更好的二级光谱校正能力,色球差更小,因此具有更好的成像质量. 展开更多
关键词 光学设计 复消色差望远物镜 折-衍混合系统 高折射率方法
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Fabrication of superaligned carbon nanotubes reinforced copper matrix laminar composite by electrodeposition 被引量:4
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作者 靳宇 朱琳 +1 位作者 薛卫东 李文珍 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第9期2994-3001,共8页
A new kind of laminar metal matrix nanocomposite(MMC) was fabricated by an electrodeposition process with copper and superaligned carbon nanotubes film(SACNT film).The SACNT film was put on a titanium plate and th... A new kind of laminar metal matrix nanocomposite(MMC) was fabricated by an electrodeposition process with copper and superaligned carbon nanotubes film(SACNT film).The SACNT film was put on a titanium plate and then a layer of copper was electrodeposited on it.By repeating the above process,the laminar Cu/SACNT composite which contains dozens or hundreds of layers of copper and SACNT films was obtained.The thickness of a single copper layer was controlled by adjusting the process parameter easily and the thinnest layer is less than 2 μm.The microscopic observation shows that the directional alignment structure of SACNT is retained in the composite perfectly.The mechanical and electrical properties testing results show that the tensile and yield strengths of composites are improved obviously compared with those of pure copper,and the high conductivity is retained.This technology is a potential method to make applicable MMC which characterizes high volume fraction and directional alignment of carbon nanotubes. 展开更多
关键词 copper matrix laminar composite superaligned carbon nanotubes ELECTRODEPOSITION
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高分辨折反式红外探测系统光学设计 被引量:2
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作者 朱钧 朱景雷 +2 位作者 冯辰 魏继卿 侯威 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第5期1280-1284,共5页
在红外探测中,传统红外焦平面阵列以及单像元扫描式探测器的像元难以分辨更精细的红外光强分布,为了提高红外探测的分辨能力,采用灵敏度高且可以将红外光分布转化为可见光分布的碳纳米管薄膜作为红外激光的接收器,把红外光探测转化为可... 在红外探测中,传统红外焦平面阵列以及单像元扫描式探测器的像元难以分辨更精细的红外光强分布,为了提高红外探测的分辨能力,采用灵敏度高且可以将红外光分布转化为可见光分布的碳纳米管薄膜作为红外激光的接收器,把红外光探测转化为可见光探测,并以此为基础设计了一个折返式的光学成像系统进行红外光高分辨探测。优化并使用柯克式镜组降低了因球面反射镜曲率半径引起的大场曲,从而提高了系统成像质量和分辨率。通过光学设计优化得到了具有高传递函数值(MTF)、低场曲的折反式系统,从而使高分辨率的红外探测系统成为可能。 展开更多
关键词 高分辨红外探测系统 折反式系统 柯克式镜组 消场曲 碳纳米管薄膜
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铁基合金中板条马氏体帐篷型表面浮凸位移的定量分析 被引量:1
7
作者 吴静 刘新新 +3 位作者 顾新福 戴付志 杨海涛 张文征 《金属学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期1425-1434,共10页
表面浮凸伴随着丰富的相变晶体学信息,对板条马氏体表面浮凸的形状应变进行研究,可以获得相变过程中累积的长程应变场的晶体学信息,进而实现对相变应变场和界面结构的准确描述.本文对Fe-20.2Ni-5.5Mn(质量分数,%)合金中板条马氏体表面... 表面浮凸伴随着丰富的相变晶体学信息,对板条马氏体表面浮凸的形状应变进行研究,可以获得相变过程中累积的长程应变场的晶体学信息,进而实现对相变应变场和界面结构的准确描述.本文对Fe-20.2Ni-5.5Mn(质量分数,%)合金中板条马氏体表面浮凸进行系统地定量表征,并借鉴双面金相位移合成法合成单面样品浮凸的位移矢量.采用原子力显微镜(AFM)结合电子背散射衍射(EBSD)观察到该合金中板条马氏体浮凸呈帐篷型.EBSD统计分析显示板条马氏体与基体之间位向关系接近K-S关系,它们的惯习面接近(11^-1^-)_f,合成的位移矢量分散在[121^-]_f附近,最大切变角为27.49°.实验中采用AFM观察到的浮凸角为22.41°,小于合成得到的最大切变角,这可能由于惯习面不垂直于自由表面所致. 展开更多
关键词 相变晶体学 板条马氏体 表面浮凸 形状应变
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Effects of ply-orientation on microstructure and properties of super-aligned carbon nanotube reinforced copper laminar composites 被引量:2
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作者 Jing SHUAI Lun-qiao XIONG +1 位作者 Lin ZHU Wen-zhen LI 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2017年第8期1747-1758,共12页
The super-aligned carbon nanotube(SACNT)films reinforced copper(Cu)laminar composites with different orientationsof CNT ply were fabricated by electrodeposition.The results show that the tensile strength and yield str... The super-aligned carbon nanotube(SACNT)films reinforced copper(Cu)laminar composites with different orientationsof CNT ply were fabricated by electrodeposition.The results show that the tensile strength and yield strength of cross-ply compositewith5.0%(volume fraction)of SACNT reach maximum of336.3MPa and246.0MPa respectively,increased by74.0%and124.5%compared with pure Cu prepared with the same method.Moreover,the electrical conductivities of all the prepared composites areover75%IACS.The result of TEM analysis shows that the size of Cu grain and the thickness of twin lamellae can be reduced byadding SACNT,and the refining effect in cross-ply composites is more significant than that in unidirectional ply composites.Theenhanced strength of the Cu/SACNT composites comes from not only the reinforcing effect of SACNT films but also the additionalstrengthening of the Cu grain refinement caused by CNT orientation. 展开更多
关键词 copper laminar composite super-aligned carbon nanotubes reinforcement ply-orientation mechanical properties electrical properties microstructure
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亚波长金属线栅的设计、制备及偏振成像实验研究 被引量:14
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作者 康果果 谭峤峰 +3 位作者 陈伟力 李群庆 金伟其 金国藩 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期337-343,共7页
针对红外偏振成像系统,运用等效介质理论,在氟化钙基底上设计了周期为200nm,深度为100nm的金属铝栅.模拟计算结果表明,设计的金属铝栅在中红外(3—5μm)和远红外(8—12μm)双波段范围内,以及±20°的视场范围内能够提供大于35d... 针对红外偏振成像系统,运用等效介质理论,在氟化钙基底上设计了周期为200nm,深度为100nm的金属铝栅.模拟计算结果表明,设计的金属铝栅在中红外(3—5μm)和远红外(8—12μm)双波段范围内,以及±20°的视场范围内能够提供大于35dB的消光比.利用电子束曝光、反应离子束刻蚀、等离子去胶等工艺完成了金属铝栅的制作.将金属铝栅放在中波红外热像仪前,得到了目标轮廓清晰的偏振图像. 展开更多
关键词 亚波长衍射光栅 偏振成像 等效介质理论
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自催化生长氧化锌纳米柱阵列 被引量:2
10
作者 袁志好 段月琴 +2 位作者 吴扬 别利剑 范守善 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期524-526,共3页
报道一种基于有序多孔氧化铝模板纳米掩膜法制备的金属铁和锌纳米点阵列作为催化剂阵列,通过气相催化生长方法在硅基体上生长氧化锌纳米柱.初步的研究显示,该方法制备的氧化锌纳米柱尺寸均一,取向一致,呈现高度有序的阵列分布,纳米柱的... 报道一种基于有序多孔氧化铝模板纳米掩膜法制备的金属铁和锌纳米点阵列作为催化剂阵列,通过气相催化生长方法在硅基体上生长氧化锌纳米柱.初步的研究显示,该方法制备的氧化锌纳米柱尺寸均一,取向一致,呈现高度有序的阵列分布,纳米柱的直径匹配于所应用的多孔氧化铝掩模板的孔径. 展开更多
关键词 氧化锌 纳米 阵列 催化生长 多孔氧化铝模板 生长方法 气相催化 直径匹配 催化剂 金属铁 硅基体 柱尺寸 掩模板 制备 有序 膜法 孔径
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