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等离子体聚合介质膜的感湿机理研究
1
作者
马振国
杨津基
陈猛
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1995年第3期10-12,共3页
介绍了等离子体聚合方法,重点讨论了已完成的功能高分子湿敏介质膜的感湿机理及其与工艺的联系,并给出结论.
关键词
湿敏介质
等离子体聚合
湿度传感器
介质膜
下载PDF
职称材料
题名
等离子体聚合介质膜的感湿机理研究
1
作者
马振国
杨津基
陈猛
机构
清华大学电机系气体放电实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1995年第3期10-12,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目
文摘
介绍了等离子体聚合方法,重点讨论了已完成的功能高分子湿敏介质膜的感湿机理及其与工艺的联系,并给出结论.
关键词
湿敏介质
等离子体聚合
湿度传感器
介质膜
Keywords
plasma polymerization functional polymer humidity-sensitive film
分类号
TH837 [机械工程—精密仪器及机械]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
等离子体聚合介质膜的感湿机理研究
马振国
杨津基
陈猛
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1995
0
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