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显微云纹技术在微电子器件力学测量中的应用
被引量:
1
1
作者
谢惠民
王怀喜
+2 位作者
马少鹏
刘清珺
岸本哲
《力学与实践》
CSCD
北大核心
2009年第3期1-8,共8页
电子工业的不断发展促进了电子器件的微小型化,作为新型产品设计基础的微电子器件可靠性分析成为人们非常关注的问题.力学参数的测量可以为可靠性评价提供有价值的实验依据.概括总结了显微云纹技术的发展,主要介绍了云纹干涉法和扫描显...
电子工业的不断发展促进了电子器件的微小型化,作为新型产品设计基础的微电子器件可靠性分析成为人们非常关注的问题.力学参数的测量可以为可靠性评价提供有价值的实验依据.概括总结了显微云纹技术的发展,主要介绍了云纹干涉法和扫描显微镜云纹方法及其在微电子器件全场变形场测量中的应用.
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关键词
显微云纹
微电子器件
变形分析
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职称材料
六面体单元体积坐标方法
被引量:
7
2
作者
李宏光
岑松
+1 位作者
龙驭球
岑章志
《工程力学》
EI
CSCD
北大核心
2008年第10期12-18,共7页
基于二维问题四边形单元面积坐标法的成功思路,建立了三维六面体单元体积坐标的系统方法,包括:1)六面体单元特征参数的定义及单元退化模式研究;2)六面体单元体积坐标定义;3)六面体单元的体积坐标与直角坐标、等参坐标之间的关系;4)六面...
基于二维问题四边形单元面积坐标法的成功思路,建立了三维六面体单元体积坐标的系统方法,包括:1)六面体单元特征参数的定义及单元退化模式研究;2)六面体单元体积坐标定义;3)六面体单元的体积坐标与直角坐标、等参坐标之间的关系;4)六面体体积坐标的微分公式。可以看到,六面体体积坐标保持了局部自然坐标的优点,并且与直角坐标始终保持线性关系。它为构造对网格畸变不敏感的新型六面体有限元模型提供了新工具。
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关键词
有限元
体积坐标
六面体单元
特征参数
列格畸变
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职称材料
数字图像相关测量中镜头成像畸变的估计和校正
被引量:
5
3
作者
潘兵
谢惠民
+2 位作者
陈鹏万
黄风雷
张庆明
《计量学报》
CSCD
北大核心
2009年第1期62-67,共6页
提出一种用于高精度数字图像相关测量的镜头成像畸变估计和校正方法。通过对由刚体平移实验得到的畸变位移场进行分析获得镜头的畸变系数,并根据畸变系数对畸变位移场进行校正。对一25 mm固定焦距镜头的成像畸变进行估计,并进一步讨...
提出一种用于高精度数字图像相关测量的镜头成像畸变估计和校正方法。通过对由刚体平移实验得到的畸变位移场进行分析获得镜头的畸变系数,并根据畸变系数对畸变位移场进行校正。对一25 mm固定焦距镜头的成像畸变进行估计,并进一步讨论了该镜头成像畸变对位移测量误差的影响。结果显示,可有效消除由镜头成像畸变引起的位移测量误差,达到高精度测量的目的。
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关键词
计量学
镜头畸变
数字图像相关
位移测量
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职称材料
基于六面体体积坐标的新型8结点实体单元
4
作者
李宏光
岑松
岑章志
《清华大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第11期1856-1860,共5页
六面体体积坐标方法是构造高性能三维实体单元的新工具。基于六面体体积坐标方法,构造了含有内参的8结点实体单元HV3D8。其基本位移场的形函数由点协调广义协调条件精确确定,并按照Wilson非协调元的模式进一步建立了单元内部位移场,这...
六面体体积坐标方法是构造高性能三维实体单元的新工具。基于六面体体积坐标方法,构造了含有内参的8结点实体单元HV3D8。其基本位移场的形函数由点协调广义协调条件精确确定,并按照Wilson非协调元的模式进一步建立了单元内部位移场,这样使得该单元的位移场对整体坐标是二次完备的。数值算例表明:该单元在各种弯曲问题中不仅计算精度高,而且抗网格畸变能力优于其他同类等参元,显示了六面体体积坐标和广义协调理论相结合的特有优点。
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关键词
有限元
六面体体积坐标
广义协调
网格畸变
8结点三维实体单元
原文传递
题名
显微云纹技术在微电子器件力学测量中的应用
被引量:
1
1
作者
谢惠民
王怀喜
马少鹏
刘清珺
岸本哲
机构
清华大学
工程力
学
系
破坏力
学
教育部
重点
实验室
清华大学破坏力学教育部重点实验室
客座研究人员
出处
《力学与实践》
CSCD
北大核心
2009年第3期1-8,共8页
基金
国家重点基础研究发展计划(973计划)(2004CB619304
2007CB936803)
+4 种基金
国家自然科学基金资助项目(10625209
10732080
10472050)
教育部新世纪优秀人才支持计划((KFJJ03-1)
北京市自然科学基金资助项目(3072007)
文摘
电子工业的不断发展促进了电子器件的微小型化,作为新型产品设计基础的微电子器件可靠性分析成为人们非常关注的问题.力学参数的测量可以为可靠性评价提供有价值的实验依据.概括总结了显微云纹技术的发展,主要介绍了云纹干涉法和扫描显微镜云纹方法及其在微电子器件全场变形场测量中的应用.
关键词
显微云纹
微电子器件
变形分析
Keywords
micro-moire, micro-electronic devices, deformation analysis
分类号
O348.1 [理学—固体力学]
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职称材料
题名
六面体单元体积坐标方法
被引量:
7
2
作者
李宏光
岑松
龙驭球
岑章志
机构
清华大学
航天航空
学
院
清华大学破坏力学教育部重点实验室
清华大学
土木工程系
出处
《工程力学》
EI
CSCD
北大核心
2008年第10期12-18,共7页
基金
国家自然科学基金项目(10502028)
高等学校全国优秀博士论文作者专项基金项目(200242)
教育部新世纪优秀人才支持计划项目(NCET-07-0477)
文摘
基于二维问题四边形单元面积坐标法的成功思路,建立了三维六面体单元体积坐标的系统方法,包括:1)六面体单元特征参数的定义及单元退化模式研究;2)六面体单元体积坐标定义;3)六面体单元的体积坐标与直角坐标、等参坐标之间的关系;4)六面体体积坐标的微分公式。可以看到,六面体体积坐标保持了局部自然坐标的优点,并且与直角坐标始终保持线性关系。它为构造对网格畸变不敏感的新型六面体有限元模型提供了新工具。
关键词
有限元
体积坐标
六面体单元
特征参数
列格畸变
Keywords
finite element
volume coordinate
hexahedral element
characteristic parameter
mesh distortion
分类号
O242.21 [理学—计算数学]
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职称材料
题名
数字图像相关测量中镜头成像畸变的估计和校正
被引量:
5
3
作者
潘兵
谢惠民
陈鹏万
黄风雷
张庆明
机构
清华大学破坏力学教育部重点实验室
北京理工
大学
爆炸科
学
与技术国家
重点
实验室
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2009年第1期62-67,共6页
基金
国家自然科学基金(10625209,10472050,10121202)
973计划(2004CB619304)
+1 种基金
北京市自然科学基金(3072007)
爆炸科学与技术国家重点实验室开放基金(KFJJ05-4)
文摘
提出一种用于高精度数字图像相关测量的镜头成像畸变估计和校正方法。通过对由刚体平移实验得到的畸变位移场进行分析获得镜头的畸变系数,并根据畸变系数对畸变位移场进行校正。对一25 mm固定焦距镜头的成像畸变进行估计,并进一步讨论了该镜头成像畸变对位移测量误差的影响。结果显示,可有效消除由镜头成像畸变引起的位移测量误差,达到高精度测量的目的。
关键词
计量学
镜头畸变
数字图像相关
位移测量
Keywords
Metrology
Lens distortion
Digital image correlation
Displacement measurement
分类号
TB93 [机械工程—测试计量技术及仪器]
下载PDF
职称材料
题名
基于六面体体积坐标的新型8结点实体单元
4
作者
李宏光
岑松
岑章志
机构
清华大学
航天航空
学
院
空军航空
大学
清华大学破坏力学教育部重点实验室
出处
《清华大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第11期1856-1860,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(10872108)
高等学校全国优秀博士学位论文作者专项基金资助项目(200242)
教育部新世纪优秀人才支持计划项目(NCET-07-0477)
文摘
六面体体积坐标方法是构造高性能三维实体单元的新工具。基于六面体体积坐标方法,构造了含有内参的8结点实体单元HV3D8。其基本位移场的形函数由点协调广义协调条件精确确定,并按照Wilson非协调元的模式进一步建立了单元内部位移场,这样使得该单元的位移场对整体坐标是二次完备的。数值算例表明:该单元在各种弯曲问题中不仅计算精度高,而且抗网格畸变能力优于其他同类等参元,显示了六面体体积坐标和广义协调理论相结合的特有优点。
关键词
有限元
六面体体积坐标
广义协调
网格畸变
8结点三维实体单元
Keywords
finite element
hexahedral volume generalized conforming
mesh distortion
solid element coordinate
8-node 3D
分类号
O242.21 [理学—计算数学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
显微云纹技术在微电子器件力学测量中的应用
谢惠民
王怀喜
马少鹏
刘清珺
岸本哲
《力学与实践》
CSCD
北大核心
2009
1
下载PDF
职称材料
2
六面体单元体积坐标方法
李宏光
岑松
龙驭球
岑章志
《工程力学》
EI
CSCD
北大核心
2008
7
下载PDF
职称材料
3
数字图像相关测量中镜头成像畸变的估计和校正
潘兵
谢惠民
陈鹏万
黄风雷
张庆明
《计量学报》
CSCD
北大核心
2009
5
下载PDF
职称材料
4
基于六面体体积坐标的新型8结点实体单元
李宏光
岑松
岑章志
《清华大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
0
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