微传感器制造中的硅-玻璃静电键合技术

介绍了硅－玻璃静电键合的基本原理，阐述了在自建静电键合设备上实现静电键合的过程。结合其在微机械传感器中的应用，讨论了粗糙表面的键合技术。

机床热变形误差的混合输入动态模型

分析了影响机床温度场因素。在切削热较小的情况下，机床主轴箱附近的温度场主要受主轴转速的影响，而环境温度的变化等其它因素对其影响较小。在此基础上提出一种机床热变形误差的混合建模方案，即同时采用温度场和机床的主轴转速为模型的输入，这样即可在保证模型预报精度的前提下减少温度测点数量，以方便应用，又可提高模型的可靠性。