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任意三维表面微型光器件的灰度光刻技术
被引量:
3
1
作者
史俊锋
张光国
王东生
《微纳电子技术》
CAS
2004年第10期38-43,共6页
使用传统的微加工技术,如各向异性或各向同性干刻蚀、湿刻蚀只能加工有限形貌的表面,为了克服这一缺点,发展了多层掩模技术、激光三维立体光刻、电子束直接写入技术等许多三维微加工技术。灰度光刻最被看好,它通过灰度掩模把加工光束能...
使用传统的微加工技术,如各向异性或各向同性干刻蚀、湿刻蚀只能加工有限形貌的表面,为了克服这一缺点,发展了多层掩模技术、激光三维立体光刻、电子束直接写入技术等许多三维微加工技术。灰度光刻最被看好,它通过灰度掩模把加工光束能量密度分布调制成不同的形状,对光刻胶进行曝光,微型器件一次成形,不需要移动掩模或移动加工晶片,也不需要对光刻胶进行热处理,只需要对掩模版进行一定的编码和标准的光刻设备,容易和其他IC工艺相兼容,实现系统芯片结构的制作。本文分析了它的物理机制、掩模类型、编码过程、约束条件和优化方法。
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关键词
灰度
光刻
掩模
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职称材料
第三代激光干涉仪——固体微片激光自混合测量技术的突破
被引量:
9
2
作者
张书练
谈宜东
《计测技术》
2018年第3期43-59,共17页
微片激光自混合干涉仪原理上与迈克尔逊干涉仪不同。主要差别是:激光自混合干涉仪的光束照射在被测物上并被反射回激光器被激光器内放大介质放大。作者课题组研究的的激光自混合干涉仪的测量速度达到了1 m/s以上,10 m空程的环境误差小到...
微片激光自混合干涉仪原理上与迈克尔逊干涉仪不同。主要差别是:激光自混合干涉仪的光束照射在被测物上并被反射回激光器被激光器内放大介质放大。作者课题组研究的的激光自混合干涉仪的测量速度达到了1 m/s以上,10 m空程的环境误差小到了40 nm。它具有全固态、可测"黑"目标的位移等性能,又达到了传统激光干涉仪的技术指标。如果第一代光学干涉仪是以光谱灯做光源,第二代光学干涉仪是以He Ne气体激光器做光源的话,固体激光自混合干涉仪因其激光"自混合"原理可看成是第三代激光干涉仪。
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关键词
固体微片激光器
激光自混干涉仪
Lang-Kobayash模型
仪器化
位移测量
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职称材料
用热释电探测器构建的红外控制实验系统
3
作者
郭宏
朱昊
+1 位作者
毛献辉
周锴
《实验室研究与探索》
CAS
2005年第3期24-26,共3页
热释电探测器作为一个关键器件在光电技术领域中应用非常广泛。本文设计了一种用热释电探测器作为敏感元件的红外测控实验系统,并把该系统引入到学生"光电技术实验课"中,使学生通过动手操作,加深了对课程的理解,掌握了应用技...
热释电探测器作为一个关键器件在光电技术领域中应用非常广泛。本文设计了一种用热释电探测器作为敏感元件的红外测控实验系统,并把该系统引入到学生"光电技术实验课"中,使学生通过动手操作,加深了对课程的理解,掌握了应用技术,且提高了实验的主动性和积极性。
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关键词
热释电
菲涅尔透镜
电压比较器
红外节水装置
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职称材料
题名
任意三维表面微型光器件的灰度光刻技术
被引量:
3
1
作者
史俊锋
张光国
王东生
机构
清华大学精密仪器与机械学系光电工程研究所
出处
《微纳电子技术》
CAS
2004年第10期38-43,共6页
文摘
使用传统的微加工技术,如各向异性或各向同性干刻蚀、湿刻蚀只能加工有限形貌的表面,为了克服这一缺点,发展了多层掩模技术、激光三维立体光刻、电子束直接写入技术等许多三维微加工技术。灰度光刻最被看好,它通过灰度掩模把加工光束能量密度分布调制成不同的形状,对光刻胶进行曝光,微型器件一次成形,不需要移动掩模或移动加工晶片,也不需要对光刻胶进行热处理,只需要对掩模版进行一定的编码和标准的光刻设备,容易和其他IC工艺相兼容,实现系统芯片结构的制作。本文分析了它的物理机制、掩模类型、编码过程、约束条件和优化方法。
关键词
灰度
光刻
掩模
Keywords
gray-tone
lithography
mask
分类号
TH74 [机械工程—光学工程]
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
第三代激光干涉仪——固体微片激光自混合测量技术的突破
被引量:
9
2
作者
张书练
谈宜东
机构
清华大学精密仪器与机械学系光电工程研究所
精密
测试技术及
仪器
国家重点实验室
出处
《计测技术》
2018年第3期43-59,共17页
基金
国家自然科学基金(61775118
61475082)
+1 种基金
国家重大仪器专项(2011YQ04013603)
北京市科委项目(Z151100002415027)
文摘
微片激光自混合干涉仪原理上与迈克尔逊干涉仪不同。主要差别是:激光自混合干涉仪的光束照射在被测物上并被反射回激光器被激光器内放大介质放大。作者课题组研究的的激光自混合干涉仪的测量速度达到了1 m/s以上,10 m空程的环境误差小到了40 nm。它具有全固态、可测"黑"目标的位移等性能,又达到了传统激光干涉仪的技术指标。如果第一代光学干涉仪是以光谱灯做光源,第二代光学干涉仪是以He Ne气体激光器做光源的话,固体激光自混合干涉仪因其激光"自混合"原理可看成是第三代激光干涉仪。
关键词
固体微片激光器
激光自混干涉仪
Lang-Kobayash模型
仪器化
位移测量
Keywords
solid mieroehip laser
laser self-mixing interferometer
Lang-Kobayash model
instrumentation
displacement measurement
分类号
TB96 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
用热释电探测器构建的红外控制实验系统
3
作者
郭宏
朱昊
毛献辉
周锴
机构
清华大学精密仪器与机械学系光电工程研究所
出处
《实验室研究与探索》
CAS
2005年第3期24-26,共3页
基金
北京市科委资助项目(编号:041501036)
文摘
热释电探测器作为一个关键器件在光电技术领域中应用非常广泛。本文设计了一种用热释电探测器作为敏感元件的红外测控实验系统,并把该系统引入到学生"光电技术实验课"中,使学生通过动手操作,加深了对课程的理解,掌握了应用技术,且提高了实验的主动性和积极性。
关键词
热释电
菲涅尔透镜
电压比较器
红外节水装置
Keywords
pyroelectric detector
Fresnel lens
voltage comparer
infrared water-saving device
分类号
TN709 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
任意三维表面微型光器件的灰度光刻技术
史俊锋
张光国
王东生
《微纳电子技术》
CAS
2004
3
下载PDF
职称材料
2
第三代激光干涉仪——固体微片激光自混合测量技术的突破
张书练
谈宜东
《计测技术》
2018
9
下载PDF
职称材料
3
用热释电探测器构建的红外控制实验系统
郭宏
朱昊
毛献辉
周锴
《实验室研究与探索》
CAS
2005
0
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