MEMS微推进技术的研究

空间推进器是卫星的姿态控制及轨道的修正、保持和机动的重要执行元件 .随着小卫星、微卫星、纳卫星、皮卫星和星座及编队飞行技术的出现 ,对空间推进技术提出了更高的要求 .在综述国内外微推进技术的基础上 ,着重介绍研制的微型数字式MEMS阵列推进器的总体结构设计、推进剂的选择与性能研究。

基于MEMS技术的气体传感器

综述了目前国内外主要MEMS气体传感器的原理,包括谐振式微悬臂梁型、声表面波型、阻抗变化型、声光法、气体光谱、催化燃烧式和高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)检测法。对各种传感器的特点进行了比较。