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原子力显微镜的力传感器
1
作者
薛实福
刘永生
+3 位作者
李庆祥
高宏
徐毓娴
于水
《电子工业专用设备》
1995年第3期9-15,共7页
原子力显微镜已成为人们观测和研究物体微观世界的强有力工具,由悬臂梁与探针集成件(Cantileverstylus)组成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件,它的结构和性能直接影响原子力显微镜的性能、测量分辨率和测试...
原子力显微镜已成为人们观测和研究物体微观世界的强有力工具,由悬臂梁与探针集成件(Cantileverstylus)组成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件,它的结构和性能直接影响原子力显微镜的性能、测量分辨率和测试图象质量。本文着重介绍了原子力显微镜基本工作原理、对力传感器的要求、力传感器的结构和设计、力传感器的微机械加工以及其主要性能测试等问题。
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关键词
原子力显微镜
探针
悬臂梁探针
设计
力传感器
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职称材料
题名
原子力显微镜的力传感器
1
作者
薛实福
刘永生
李庆祥
高宏
徐毓娴
于水
机构
清华大学精密仪器系与机械系
出处
《电子工业专用设备》
1995年第3期9-15,共7页
基金
国家自然科学基金
文摘
原子力显微镜已成为人们观测和研究物体微观世界的强有力工具,由悬臂梁与探针集成件(Cantileverstylus)组成的力传感器是原子力显微镜的一个关键部件,它的结构和性能直接影响原子力显微镜的性能、测量分辨率和测试图象质量。本文着重介绍了原子力显微镜基本工作原理、对力传感器的要求、力传感器的结构和设计、力传感器的微机械加工以及其主要性能测试等问题。
关键词
原子力显微镜
探针
悬臂梁探针
设计
力传感器
分类号
TH742.9 [机械工程—光学工程]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
原子力显微镜的力传感器
薛实福
刘永生
李庆祥
高宏
徐毓娴
于水
《电子工业专用设备》
1995
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