三维互连全耦合电容矩阵的层次式提取算法

基于直接边界元素法 ,提出一种边界电容矩阵概念 ,从而实现了三维互连电容的层次式提取算法 .该算法将三维求解区域划分为若干小块 ,对每个小块分别计算其边界电容矩阵 ,再通过层次式合并算法便可得到全耦合互连电容矩阵 .数值实验表明 ,本方法进行电容提取的速度比商业软件SpiceLink、虚拟多介质快速算法。

考虑填充哑元的有效三维互连电容提取与分析

向集成电路版图中填充金属哑元(dummy)可减少化学 机械抛光所产生的介质厚度差异,同时它也给传统的寄生电容提取工具带来性能上的巨大挑战.本文基于虚拟多介质加速的直接边界元法,提出一种有效处理含有哑元填充互连结构的三维电容提取算法.通过采用悬浮(floating)边界条件和有效的方程形成和求解方法,该算法在保持高精度的同时,速度比Raphael快几千倍、比文[5 ]中方法快十多倍.利用本文算法,还对含哑元结构进行了一系列试验,分析其对互连电容的影响,有助于集成电路的优化设计.