微型晶体谐振器封盖移载机械手移载精度分析

封盖移载机械手是一种移载微型晶体谐振器封盖的装置,要求其移载速度快、移载精度高。为分析微型晶体谐振器封盖移载机械手移载精度,根据多体动力学理论,基于ADAMS/View建立了封盖移载机械手运动仿真模型,基于MATLAB/Simulink建立了封盖移载机械手偏转气缸作动速度模型;通过联合仿真,得到了偏转气缸节流阀开度与微型晶体谐振器封盖移载误差量之间的关系,分析了封盖移载机械手移载精度,为封盖移载精度控制与物理样机调试提供了依据,缩短了设计周期。

微纳晶体谐振器封盖移载机械手末端位置误差分析

封盖移载机械手是一种移载微纳晶体谐振器封盖的装置,该装置要求其定位精度高、移载速度快。通过DH模型法,建立封盖移载机械手运动模型;基于MDH方法修正运动学模型并建立正运动学模型;利用Robotic Toolbox仿真验证运动建模的合理性;基于MDH建模方法建立统一的位置误差数学模型,得到各参数的误差对应末端位置坐标,为封盖移载机械手的安装、精度设计和误差分析提供理论依据。