基于有限元法的新结构LiNbO_3电光调制器的分析与优化

对传统结构的LiNbO3电光调制器进行了改进,并用有限元法对改进后的电光调制器进行了分析计算,采用T形电极、脊波导和空气背槽的新型LiNbO3电光调制器在进行了结构尺寸优化后,相速完全匹配,带宽可达98GHz,特性阻抗为52Ω,损耗系数为0.464dB/(cm.GHz1/2),半波电压为7.13V,其性能远优于传统结构的调制器。