脉冲激光沉积过程虚拟仿真实验设计及教学模式探索

脉冲激光沉积(PLD)薄膜制备技术是物理气相沉积技术中先进的工艺和手段之一,也是材料学科实验教学的重要内容,但该实验所需实验仪器精密、操作复杂、耗材昂贵且用量大,严重制约其有效开展。基于此,自主开发设计了PLD过程虚拟仿真实验项目,完整模拟了PLD薄膜制备的工艺流程及关键控制条件,实现虚实结合。通过线上、线下结合的教学模式,实现沉浸式漫游、互动式学习、自主选择练习,达到激发兴趣、提升能力、提高效率的教学目标,有效培养学生的创新意识。