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正弦调制干涉仪快速精密测量模型与算法研究
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作者 王莉田 史锦珊 王玉田 《传感技术学报》 CAS CSCD 1996年第2期21-24,共4页
介绍一种用正弦相位调制干涉法实现实时位移测量的一种新的算法和信号处理系统.该系统可高效地服务于高精度位移测量,且其信号处理延时量,比数百毫秒的常规方法短得多.本文所述方法,在满足一定条件下,通过实时采样及电路处理,延迟时间&l... 介绍一种用正弦相位调制干涉法实现实时位移测量的一种新的算法和信号处理系统.该系统可高效地服务于高精度位移测量,且其信号处理延时量,比数百毫秒的常规方法短得多.本文所述方法,在满足一定条件下,通过实时采样及电路处理,延迟时间<45μS,很容易实现实时位移量测定. 展开更多
关键词 干涉仪 精密测量 正弦调制干涉仪 位移测量
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