AGC色谱分析仪在He、Ne提纯工艺中的应用

概述色谱分析仪器在He、Ne提纯设备中的应用。表述了每台分析仪器的主要配置,以及对各个主要样品分析监测点的分析结果。

气相色谱负压进样分析磷烷中的杂质

主要介绍配置DID氦离子化检测器、样品管道采取负压方式进样分析磷烷的原理及方法,一次进样同时检测出高纯磷烷中的微量杂质H_2、O_2+Ar、N_2、CH_4、CO、CO_2、Si H_4、As H_3。并验证方法的可行性。

全氟丙烷中的多种杂质色谱(DID)分析

概述了采用配置DID检测器的气相色谱分析全氟丙烷的原理及方法。利用中心切割技术对全氟丙烷中的H_2、O_2+Ar、N_2、CH_4、CO、CF_4、CO_2、C_2F_6、C_3F_8、C_3F_6、C_3H_2F_6、C_4F_8、C_3HF_7进行定量分析,用多种不同标气进行定性分析。实验结果证明,该方法能很好的避免C_3F_8主峰对各种碳氟化物杂质峰的干扰,分离效果好,响应高。

高纯氟化氢中微量杂质气体测定

采用气相色谱分析系统,建立了一种精准测定高纯氟化氢(HF)中微量杂质气体的方法。以高纯氦为载气,高纯HF经专用除水装置除水、预分离柱分离、反吹处理,气体杂质通过分子筛柱和Hayesep柱分离后进入氦放电离子化检测器(DID),用外标法定量分析微量杂质组分H2、O2+Ar、N2、CH4、CO和CO2,体积分数检出限可达10^-8,相对标准偏差(RSD)<5%。该方法准确、可靠、精密度好,能够精准检测HF气体中的微量气体杂质。