碳化硅轻量反射镜的超精密加工

运用在线电解磨削技术(ELID)加工大型碳化硅球面镜(口径360mm),设计了一套专用的静压组合夹具用以抑制加工过程中因磨削力引起的工件变形。结合在线面形测量和基于误差补偿的补正加工方法,可以获得面形精度为P-V值0.8μm、表面粗糙度为Ra7.8nm的高质量碳化硅球面镜。

新型反应烧结碳化硅陶瓷的超精密磨削

介绍了一种可用作光学反射镜材料的新型反应烧结碳化硅。采用超精密磨床结合在线电解修整的磨削方法对新型反应烧结碳化硅进行磨削,研究了不同磨粒尺寸、不同结合剂以及不同形状砂轮对磨削面性状的影响,分析了磨削面微段差的形成机理。获得了表面粗糙度Ra=0.57nm的超平滑镜面。

基于光纤传感的非球面面形在线检测法

机上在线面形检测方式有利于提高非球面的加工效率和精度。提出了一种基于光纤传感的在线面形检测方法,通过空气静压轴承探头和激光干涉位移计的有机融合构成检测系统。研究了面形误差数据处理方法,探讨了测量力与扫描速度对测量精度的影响。